检索结果-南通市图书馆

Single-cell system using monolithic PMUTs-on-CMos to monitor fluid hydrodynamic properties

Microsystems & Nanoengineering 2022年第4期8卷 81-89页

作者： Eyglis Ledesma lvan zamora Jesus Yanez rantxa Uranga Nuria Barniol Department of Electronics Engineering Universitat Autonoma de Barcelona08193 BellaterraSpain

In this work,a single cell capable of monitoring fluid density,viscosity,sound velocity,and compressibility with a compact and small design is *** fluid measurement system is formed by a two-port AlScN piezoelectric micromachined ultrasonic transducer(PMUT)with an 80μm length monolithically fabricated with a 130 nm complementary metal-oxide semiconductor(CMOS)*** electrode configuration allows the entire system to be implemented in a single device,where one electrode is used as an input and the other as an *** verification was carried out by exploiting the features of piezoelectric devices such as resonators and acoustic transducers,where a frequency shift and amplitude variation are expected because of a change in density and viscosity.A sensitivity of 482±14 Hz/kg/m3 demonstrates the potential of the system compared to other dualelectrode *** addition,according to the acoustic measurement,the sound velocity,fluid compressibility,and viscosity coefficient can be extracted,which,to the best of our knowledge,is novel in these PMUT systems.

关键词： process. system electrode

来源：

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：