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Fabrication and properties of anodic alumina humidity sensor with through-hole structure

Chinese Science Bulletin 2008年第2期53卷 183-187页

作者： ling zhiyuan chen shuoshuo wang jinchi li yi Department of Electronic Materials Science and Engineering Institute of Materials South China University of Technology Guangzhou 510640 China

Through-hole structural humidity sensor was fabricated by radio-frequency magnetron sputtering deposition of gold electrodes on two sides of anodic aluminum oxide (AAO) membranes which were prepared by two-step anodization procedure at 0―5℃ and 40 V in 0.5 mol/L oxalic acid electrolyte. The investigation on the impedance at various humid conditions showed a linear relationship between im- pedance and relative humidity over the range of 12%―97% RH. Other excellent properties such as rapid response and good reproducibility were also obtained.

关键词：湿度传感器氧化铝阳极纳米电极

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Fabrication of porous alumina templates with a large-scale tunable interpore distance in a H_2C_2O_4-C_2H_5OH-H_2O solution

引用

Chinese Science Bulletin 2008年第10期53卷 1608-1612页

作者： li yi ling zhiyuan wang jinchi chen shuoshuo HU Xing HE XinHua Department of Electronic Materials Science and Engineering Institute of Materials South China University of Technology Guang-zhou 510640 China

Highly ordered porous alumina templates with a large-scale tunable interpore distance (100―445 nm) have been successfully fabricated under an electric field of 40―180 V by modifying oxalic acid solution with adequate alcohol. The results under our experimental conditions show that the phenomena of burning and breakdown during the high-field anodization process can be avoided by adding a proper amount of alcohol to the oxalic acid solution. An excellent linear relationship between interpore distance and anodization voltage is obtained under 40―170 V, and the maximum anodization voltage that could be used to avoid burning and breakdown is 180 V.

关键词：阳极电镀多孔渗水氧化铝模板草酸酒精

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