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计测技术 2023年第1期43卷 169-174页

作者：蒋俊海孙伟强王振韩春营孟庆浪俞宗强东方晶源微电子科技北京有限公司北京100176 复旦大学微电子学院上海200433

电子束缺陷检测设备是集成电路制造中不可或缺的良率监控设备。其基本原理是结合扫描电镜成像技术、高精度运动控制技术、高速图像数据处理和自动检测分类算法等,在集成电路制造环节对晶圆及集成电路的物理缺陷和电性缺陷进行检测。为... 详细信息

电子束缺陷检测设备是集成电路制造中不可或缺的良率监控设备。其基本原理是结合扫描电镜成像技术、高精度运动控制技术、高速图像数据处理和自动检测分类算法等,在集成电路制造环节对晶圆及集成电路的物理缺陷和电性缺陷进行检测。为填补此类设备国产化空白,通过自主研发,突破了高分辨力大视场扫描成像、三维高精度定位补偿、智能化缺陷检测和分类等技术难点,研发了国产化电子束缺陷检测设备并应用于集成电路产线,填补了国内空白,为推动我国集成电路领域检测技术的发展起到了重要作用。

关键词：集成电路制造电子束显微成像缺陷检测

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沿空掘巷围岩稳定性控制方案

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煤 2021年第4期30卷 16-19页

作者：丁永红高宏杰邵嗣华孙志猛刘建刚李明张磊张巨峰甘肃靖远煤电股份有限公司红会第一煤矿甘肃白银730913 陇东学院能源工程学院甘肃庆阳745000

为了提高煤炭回采率,甘肃靖远矿区红会一矿1715运输巷道采用沿空掘巷与1713采空区留设窄小煤柱的方式护巷掘进,但是,巷道掘进过程中围岩稳定性控制问题凸显。针对1715运输巷道沿空掘巷留设窄小煤柱围岩稳定性难以控制的问题,根据自然平... 详细信息

为了提高煤炭回采率,甘肃靖远矿区红会一矿1715运输巷道采用沿空掘巷与1713采空区留设窄小煤柱的方式护巷掘进,但是,巷道掘进过程中围岩稳定性控制问题凸显。针对1715运输巷道沿空掘巷留设窄小煤柱围岩稳定性难以控制的问题,根据自然平衡拱理论,计算了巷道两帮及顶板的破坏深度,并以此为基础,结合悬吊理论,设计出了巷道锚杆锚索支护参数,提出了切顶卸压和巷道锚杆锚索联合加固的围岩稳定性控制技术方案,为沿空掘巷窄小煤柱围岩稳定性控制提供了参考。

关键词：沿空掘巷围岩稳定性控制方案

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JUNO sensitivity on proton decay p→νK^(+)searches

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Chinese Physics C 2023年第11期47卷 7-22页

作者： Angel Abusleme Thomas Adam Shakeel Ahmad Rizwan Ahmed Sebastiano Aiello Muhammad Akram 安丰鹏安琪 Giuseppe Andronico Nikolay Anfimov Vito Antonelli Tatiana Antoshkina Burin Asavapibhop João Pedro Athayde Marcondes de André Didier Auguste Nikita Balashov Wander Baldini Andrea Barresi Davide Basilico Eric Baussan Marco Bellato Antonio Bergnoli Thilo Birkenfeld Sylvie Blin David Blum Simon Blyth Anastasia Bolshakova Mathieu Bongrand Clément Bordereau Dominique Breton Augusto Brigatti Riccardo Brugnera Riccardo Bruno Antonio Budano Mario Buscemi Jose Busto Ilya Butorov Anatael Cabrera Barbara Caccianiga 蔡浩蔡啸蔡严克蔡志岩 Riccardo Callegari Antonio Cammi Agustin Campeny 曹传亚曹国富曹俊 Rossella Caruso Cédric Cerna 常劲帆 Yun Chang 陈平平 Po-An Chen 陈少敏陈旭荣 Yi-Wen Chen 陈义学陈羽陈长程捷程雅苹 Alexey Chetverikov Davide Chiesa Pietro Chimenti Artem Chukanov Gérard Claverie Catia Clementi Barbara Clerbaux Selma Conforti Di Lorenzo Daniele Corti Flavio Dal Corso Olivia Dalager Christophe De La Taille 邓智邓子艳 Wilfried Depnering Marco Diaz Xuefeng Ding 丁雅韵 Bayu Dirgantara Sergey Dmitrievsky Tadeas Dohnal Dmitry Dolzhikov Georgy Donchenko 董建蒙 Evgeny Doroshkevich Marcos Dracos Frédéric Druillole 杜然杜书先 Stefano Dusini Martin Dvorak Timo Enqvist Heike Enzmann Andrea Fabbri Ulrike Fahrendholz 范东华樊磊方建方文兴 Marco Fargetta Dmitry Fedoseev Li-Cheng Feng 冯启春 Richard Ford Amélie Fournier 甘浩男 Feng Gao Alberto Garfagnini Arsenii Gavrikov Marco Giammarchi Agnese Giaz Nunzio Giudice Maxim Gonchar 龚光华宫辉 Yuri Gornushkin Alexandre Göttel Marco Grassi Christian Grewing Vasily Gromov 顾旻皓谷肖飞古宇关梦云 Nunzio Guardone Maria Gul 郭聪郭竞渊郭万磊郭新恒郭宇航 Paul Hackspacher Caren Hagner 韩然 Yang Han Muhammad Sohaib Hassan 何苗何伟 Tobias Heinz Patrick Hellmuth 衡月昆 Rafael Herrera 贺远强侯少静 Yee Hsiung Bei-Zhen Hu 胡航胡健润胡俊胡守扬胡涛胡宇翔胡焯钧黄春豪黄桂鸿黄翰雄黄文昊黄鑫黄性涛黄永波惠加琪霍雷霍文驹 Cédric Huss Safeer Hussain Ara Ioannisian Roberto Isocrate Beatrice Jelmini Kuo-Lun Jen Ignacio Jeria 季筱璐吉星曌贾慧慧贾俊基蹇司玉蒋荻蒋炜江晓山金如意荆小平 Cécile Jollet Jari Joutsenvaara Sirichok Jungthawan Leonidas Kalousis Philipp Ka Pontificia Universidad Católica de Chile SantiagoChile IPHC Universitéde StrasbourgCNRS/IN2P3F-67037 StrasbourgFrance Pakistan Institute of Nuclear Science and Technology IslamabadPakistan INFN Catania and Dipartimento di Fisica e Astronomia dell Universitàdi Catania CataniaItaly East China University of Science and Technology ShanghaiChina University of Science and Technology of China HefeiChina Joint Institute for Nuclear Research DubnaRussia INFN Sezione di Milano and Dipartimento di Fisica dell Universitàdi Milano MilanoItaly Department of Physics Faculty of ScienceChulalongkorn UniversityBangkokThailand IJCLab UniversitéParis-SaclayCNRS/IN2P391405 OrsayFrance Department of Physics and Earth Science University of Ferrara and INFN Sezione di FerraraFerraraItaly INFN Milano Bicocca and University of Milano Bicocca MilanoItaly INFN Sezione di Padova PadovaItaly III.Physikalisches Institut B RWTH Aachen UniversityAachenGermany Eberhard Karls Universität Tübingen Physikalisches InstitutTübingenGermany Institute of High Energy Physics BeijingChina SUBATECH Universitéde NantesIMT AtlantiqueCNRS-IN2P3NantesFrance Univ.Bordeaux CNRSLP2IUMR 5797F-33170 GradignanFrance Department of Physics National Taiwan UniversityTaipei Dipartimento di Fisica e Astronomia dell’Universitàdi Padova and INFN Sezione di Padova PadovaItaly University of Roma Tre and INFN Sezione Roma Tre RomaItaly Aix Marseille Univ CNRS/IN2P3CPPMMarseilleFrance Wuhan University WuhanChina INFN Milano Bicocca and Politecnico of Milano MilanoItaly National United University Miao-Li Dongguan University of Technology DongguanChina Tsinghua University BeijingChina Institute of Modern Physics Chinese Academy of SciencesLanzhouChina Institute of Physics National Yang Ming Chiao Tung UniversityHsinchu North China Electric Power University BeijingChina sun Yat-Sen University GuangzhouChina Beijing Institute of Spacecraft Environment Engineering BeijingChina Universidade Estadual de Londrina LondrinaBrazil INFN Sez

The Jiangmen Underground Neutrino Observatory(JUNO)is a large liquid scintillator detector designed to explore many topics in fundamental *** this study,the potential of searching for proton decay in the p→νK^(+)mode with JUNO is *** kaon and its decay particles feature a clear three-fold coincidence signature that results in a high efficiency for ***,the excellent energy resolution of JUNO permits suppression of the sizable background caused by other delayed *** on these advantages,the detection efficiency for the proton decay via p→νK^(+)is 36.9%±4.9%with a background level of 0.2±0.05(syst)±0.2(stat)events after 10 years of data *** estimated sensitivity based on 200 kton-years of exposure is 9.6×1033 years,which is competitive with the current best limits on the proton lifetime in this channel and complements the use of different detection technologies.

关键词： proton decay grand unified theories JUNO liquid scintillator detector

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