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Photonic Sensors 2023年第4期13卷 73-98页

作者： Wenyi HUANG Xing YAN Sengyu ZHANG Zhe LI jamal nahassan Dingwei CHEN Guangjun WEN Kai CHEN Guangwei DENG Yongjun HUANG School of Information and Communication Engineering Sichuan Provincial Engineering Research Center of Communication Technology for Intelligent IoTUniversity of Electronic Science and Technology of ChinaChengdu 611731China School of Automation Engineering University of Electronic Science and Technology of ChinaChengdu 611731China Institute of Fundamental and Frontier Sciences University of Electronic Science and Technology of ChinaChengdu 610054China

Micro-gyroscopes using micro-electro-mechanical system(MEMS)and micro-optoelectro-mechanical system(MOEMS)are the new-generation and recently well-developed gyroscopes produced by the combinations of the traditional gyroscope technology and MEMS/MOEMS *** to the working principle and used materials,the newly-reported micro-gyroscopes in recent years include the silicon-based micromechanical vibratory gyroscope,hemispherical resonant gyroscope,piezoelectric vibratory gyroscope,suspended rotor gyroscope,microfluidic gyroscope,optical gyroscope,and atomic *** to different sensitive structures,the silicon-based micromechanical vibratory gyroscope can also be divided into double frame type,tuning fork type,vibrating ring type,and nested ring *** those micro-gyroscopes,in recent years,many emerging techniques are proposed and developed to enhance different aspects of performances,such as the sensitivity,angle random walk(ARW),bias instability(BI),and ***,this paper will firstly review the main performances and applications of those newly-developed MEMS/MOEMS gyroscopes,then comprehensively summarize and analyze the latest research progress of the micro-gyroscopes mentioned above,and finally discuss the future development trends of MEMS/MOEMS gyroscopes.

关键词： Micro-gyroscope MEMS MOEMS angular random walk bias instability

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