检索结果-南通市图书馆

Effect of substrate temperature on the morphological,structural,and optical properties of RF sputtered Ge(1-x)Snx films on Si substrate

引用

Chinese Physics B 2017年第5期26卷 313-318页

作者： h mahmodi M R hashim Nano-Optoelectronics Research Laboratory School of Physics Universiti Sains Malaysia 11800 USM Pulau Penang Malaysia Institute of Nano Optoelectronics Research and Technology (INOR) Universiti Sains Malaysia 11800 USM Pulau Penang Malaysia

In this study, Ge（1-x）Snx alloy films are co-sputtered on Si（100） substrates using RF magnetron sputtering at different substrate temperatures. Scanning electron micrographs, atomic force microscopy（AFM）, Raman spectroscopy, and x-ray photoemission spectroscopy（XPS） are conducted to investigate the effect of substrate temperature on the structural and optical properties of grown Ge Sn alloy films. AFM results show that RMS surface roughness of the films increases from 1.02 to 2.30 nm when raising the substrate temperature. This increase could be due to Sn surface segregation that occurs when raising the substrate temperature. Raman spectra exhibits the lowest FWhM value and highest phonon intensity for a film sputtered at 140℃. The spectra show that decreasing the deposition temperature to 140℃ improves the crystalline quality of the alloy films and increases nanocrystalline phase formation. The results of Raman spectra and XPS confirm Ge–Sn bond formation. The optoelectronic characteristics of fabricated metal-semiconductor-metal photodetectors on sputtered samples at room temperature（RT） and 140℃ are studied in the dark and under illumination. The sample sputtered at 140℃ performs better than the RT sputtered sample.

关键词： sputtering magnetron illumination crystalline raising roughness optoelectronic phonon segregation FWhM

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：