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激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测定高纯金中多种痕量杂质元素

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稀有金属 2021年第3期45卷 333-340页

作者：陈晓峰胡芳菲臧慕文孙泽明刘英童坚北京有色金属研究总院国标(北京)检验认证有限公司北京100088

建立了激光剥蚀电感耦合等离子体质谱测定高纯金中Mg,Cr,Mn,Fe,Ni,Cu,Zn,As,Se,Pd,Ag,Sn,Sb,Pb,Bi,Te 16种痕量元素的分析方法。测试参数优化实验表明在线扫描模式下,激光能量为100%,剥蚀孔径为200μm,扫描速率为60μm·s-1,载气流量为0... 详细信息

建立了激光剥蚀电感耦合等离子体质谱测定高纯金中Mg,Cr,Mn,Fe,Ni,Cu,Zn,As,Se,Pd,Ag,Sn,Sb,Pb,Bi,Te 16种痕量元素的分析方法。测试参数优化实验表明在线扫描模式下,激光能量为100%,剥蚀孔径为200μm,扫描速率为60μm·s-1,载气流量为0.6 L·min^(-1)条件下,信号强度高,稳定性好。尝试用纯铜标样建立了部分元素相对灵敏度因子,对归一化法结果进行修正,提高了方法准确度。方法的相对标准偏差(relative standard deviation,RSD)为3.8%~21.0%,方法的仪器检出限为0.0008~0.1900μg·g^(-1)。可满足高纯度金样品低损耗检测需求。

关键词：激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法高纯金痕量元素相对灵敏度因子

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公众对讲机无线电管理现状综述

数字通信世界 2022年第3期 140-142页

作者：杨昀潮户芳菲中国信息通信研究院西部分院重庆401336 国家无线电监测中心检测中心北京100041

文章介绍了无线对讲机应用发展情况,分析了美国和欧盟等国家和地区的频谱管理政策,阐述了我国公众对讲机无线电管理现状,分析了目前存在的问题,为改进我国公众对讲机管理提出了相关建议。

关键词：公众对讲机无线电管理

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辉光放电质谱法测定高纯金靶材中42种杂质元素

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冶金分析 2021年第2期41卷 9-15页

作者：王长华王伟华墨淑敏胡芳菲李娜国标(北京)检验认证有限公司北京环标科创环境科技发展有限责任公司

高纯金靶材广泛应用于电子信息行业,靶材产品对其所含杂质元素含量有着极高要求,杂质元素含量偏高将影响其使用性能。对辉光放电质谱法(GDMS)放电电流、放电气体(氩气)流量和样品预溅射时间进行了优化,以丰度高、无干扰或干扰小为原则... 详细信息

高纯金靶材广泛应用于电子信息行业,靶材产品对其所含杂质元素含量有着极高要求,杂质元素含量偏高将影响其使用性能。对辉光放电质谱法(GDMS)放电电流、放电气体(氩气)流量和样品预溅射时间进行了优化,以丰度高、无干扰或干扰小为原则来选择待测同位素,同时通过选择分辨率来克服可能存在的质谱干扰,建立了GDMS测定高纯金靶材中Al、Mg、Fe等42种元素的分析方法。采用实验方法对高纯金靶材样品中42种杂质元素进行了测定,结果表明,对于质量分数大于100μg/kg杂质元素,测定结果的相对标准偏差(RSD)均小于10%,其余含量元素测定结果的RSD基本小于46%。由于缺乏高纯金标准物质,对含量相对较高的元素如Ca、Fe、Pd、Ag、Pt、Cr、Cu和Ni元素采用电感耦合等离子体质谱法(ICPMS)进行方法对照试验,实验方法与ICP-MS的测定结果基本保持一致。

关键词：辉光放电质谱法(GDMS) 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) 高纯金靶材杂质元素

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微机械双轴电容式加速度传感器设计

电子科技 2014年第9期27卷 128-131页

作者：沈文清胡芳菲合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽合肥230009

设计一款机械噪声较小、灵敏度较高的双轴电容式加速度传感器,其具有4个水平检测单元,X、Y轴向的检测单元各有两组,且水平对称,有效地消除了轴间的交叉干扰;结构中的保护限位装置避免了结构因加速度值过大而断裂失效和结构测量的不准确... 详细信息

设计一款机械噪声较小、灵敏度较高的双轴电容式加速度传感器,其具有4个水平检测单元,X、Y轴向的检测单元各有两组,且水平对称,有效地消除了轴间的交叉干扰;结构中的保护限位装置避免了结构因加速度值过大而断裂失效和结构测量的不准确。该加速度敏感质量块的大小为3 250μm×3 250μm×5μm;栅型条的尺寸大小为1 575μm×35μm×5μm;间距为35μm,利用Ansys软件对加速度传感器进行性能仿真,得出加速度传感器X和Y轴向的静态灵敏度为0.253μm/g;电容灵敏度为1.533 pF/g;X和Y轴向的谐振频率为949 Hz,阻尼比为0.83。

关键词：传感器灵敏度谐振频率

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辉光放电质谱法测定高纯铜中痕量硫

冶金分析 2021年第8期41卷 15-21页

作者：刘红刘鹏宇刘英胡芳菲杨复光赵景鑫国标(北京)检验认证有限公司国合通用测试评价认证有限公司

硫的存在会导致集成电路用高纯铜硬度增加,进而影响铜布线的性能,因此准确测定高纯铜中痕量硫,对高纯铜生产工艺控制具有重要意义。用标准样品校准仪器相对灵敏度因子,实现了直流辉光放电质谱法（DC-GDMS）对高纯铜中痕量硫的测定。对... 详细信息

硫的存在会导致集成电路用高纯铜硬度增加,进而影响铜布线的性能,因此准确测定高纯铜中痕量硫,对高纯铜生产工艺控制具有重要意义。用标准样品校准仪器相对灵敏度因子,实现了直流辉光放电质谱法（DC-GDMS）对高纯铜中痕量硫的测定。对放电参数进行了优化,确定放电电流为2.0mA,放电电压为1 200V,预溅射时间为20min。实验表明,在优化的条件下,仪器分辨率可达3 000以上,以;S为待测同位素,可以避开硫各同位素附近离子团的干扰。通过对仪器稳定性进行统计,内部重复性相对标准偏差RSD%;为4.3%,外部重复性相对标准偏差RSD%;为6.8%。在优化后的工作条件下,方法检出限可达0.005μg/g。用t检验法评价方法准确性,两个高纯铜标样的t值计算结果分别为0.98、1.13,在95%置信概率下,查单侧t检验表为1.94,t;均小于t;,说明检测结果与标示值无显著差异。与高频燃烧红外吸收法测定值进行比较,通过双侧t检验,t;小于t;,说明两种方法测定结果无显著差异。按照实验方法对低硫样品3#、4#进行测定,结果的相对标准偏差（RSD）小于20%。不确定度评定结果表明,标准样品不确定度是影响测定结果准确性的主要因素。

关键词：高纯铜痕量硫辉光放电质谱法不确定度定量分析

直流辉光放电质谱法检测三氧化钼中痕量元素含量

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分析试验室 2023年第6期42卷 737-742页

作者：胡芳菲刘鹏宇李继东刘红赵景鑫杨复光国标(北京)检验认证有限公司北京101407 国合通用测试评价认证股份公司北京101407

建立了直流辉光放电质谱(dc-GDMS)测定三氧化钼中痕量元素含量的方法,优化了辉光放电参数,考察了三氧化钼制样面积对放电稳定性和灵敏度的影响。在优化条件下,测定2个三氧化钼标准样品BS ZZ42001和BS ZZ42003的相对灵敏度因子RSF_(1)和R... 详细信息

建立了直流辉光放电质谱(dc-GDMS)测定三氧化钼中痕量元素含量的方法,优化了辉光放电参数,考察了三氧化钼制样面积对放电稳定性和灵敏度的影响。在优化条件下,测定2个三氧化钼标准样品BS ZZ42001和BS ZZ42003的相对灵敏度因子RSF_(1)和RSF_(2),计算得到平均相对灵敏度因子RSF_(A),对三氧化钼标准样品BS ZZ42002的测定结果进行校正,与BS ZZ42002的标准值比较,除Ti和Cd外,校正后得到的各元素测定值相对误差在±9.5%以内。对未知的三氧化钼样品测定结果进行校正,并与电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)和电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)结果对比。t检验结果表明,RSF_(A)校正值与ICP-AES/ICP-MS法测定值无显著性差异。该方法可为三氧化钼中多种痕量元素的快速定量分析提供参考。

关键词：直流辉光放电质谱(dc-GDMS) 三氧化钼痕量元素定量分析

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X射线荧光光谱法测定硅片中锑、砷、磷

化学世界 2019年第11期60卷 795-798页

作者：于磊胡芳菲宋永清国标(北京)检验认证有限公司

利用X射线荧光光谱法直接测定硅片中锑、砷、磷三个主要元素,选择化学法标定的硅片作为标准,通过仪器绘制标准曲线,计算各元素的检出限及各元素的精密度。用电感耦合等离子体光谱法定量分析三个元素,将两种方法的结果进行比对,所得结果... 详细信息

利用X射线荧光光谱法直接测定硅片中锑、砷、磷三个主要元素,选择化学法标定的硅片作为标准,通过仪器绘制标准曲线,计算各元素的检出限及各元素的精密度。用电感耦合等离子体光谱法定量分析三个元素,将两种方法的结果进行比对,所得结果基本一致。因此,通过仪器法和化学法的比较,表明该法与常规化学分析相比,具有简便、成本低、分析速度快,准确等优点。

关键词： X射线荧光光谱法硅片定量分析

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一种新型岛膜压力传感器的研究与设计

微纳电子技术 2015年第7期52卷 446-451页

作者：余成昇展明浩胡芳菲李凌宇何凯旋许高斌合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心合肥230009 中国兵器集团214研究所安徽蚌埠233042

设计了一种量程为180 kPa的新型岛膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过ANSYS仿真软件,得出了在岛宽为500μm、岛厚为40μm、梁宽为200μm、敏感薄膜厚为15μm的情况下,该结构具有较好的线性度及灵敏度。提出了一种基于两层SOI硅-硅直接键... 详细信息

设计了一种量程为180 kPa的新型岛膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过ANSYS仿真软件,得出了在岛宽为500μm、岛厚为40μm、梁宽为200μm、敏感薄膜厚为15μm的情况下,该结构具有较好的线性度及灵敏度。提出了一种基于两层SOI硅-硅直接键合的工艺加工方法,能够精确控制敏感薄膜及岛的厚度,并且全硅结构器件能够避免键合残余应力,大大提高器件性能。采用了双惠斯登电桥电路减小传感器输出的温漂效应,并设计了该电路的压敏电阻连接图。最后对该压力传感器进行了测试,结果表明,其非线性为0.64%,精度为0.74%,满足现代工业应用要求。

关键词：微电子机械系统(MEMS) 压力传感器岛膜结构 ANSYS仿真硅-硅直接键合绝缘衬底上硅(SOI)

RF MEMS频率可重构三频PIFA天线的设计

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电子元件与材料 2016年第3期35卷 60-63页

作者：胡芳菲许高斌陈兴马渊明合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心安徽合肥230009

设计了一种结合RF MEMS开关实现频率可重构的三频PIFA(planner inverted F-antenna,平面倒F天线)天线。该频率可重构天线通过变换在地层的RF MEMS开关的通断改变天线的谐振回路的物理长度,从而改变PIFA天线的工作频率。通过HFSS仿真可知... 详细信息

设计了一种结合RF MEMS开关实现频率可重构的三频PIFA(planner inverted F-antenna,平面倒F天线)天线。该频率可重构天线通过变换在地层的RF MEMS开关的通断改变天线的谐振回路的物理长度,从而改变PIFA天线的工作频率。通过HFSS仿真可知,这个天线可以工作在203,498和910 MHz这三个频率为中心的频段,其相对带宽分别为18%,10%和8%,能够满足实际通信的需求。

关键词：平面倒F天线可重构天线 RF MEMS开关宽频带多频段仿真