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Growth of carbon nanotube arrays on various CtxMey alloy films by chemical vapour deposition method

Journal of Materials Science & Technology 2018年第3期34卷 472-480页

作者： pawel Mierczynski Sergey V.Dubkov Sergey V.Bulyarskii Alexander A.pavlov Sergey N.Skorik Alexey Yu Trifonov Agnieszka Mierczynska eugene p.kitsyuk Sergey A.Gavrilov Tomasz p.Maniecki Dmitry G.Gromov Institute of General and Ecological Chemistry Lodz University of TechnologyZeromskiego 116Lodz 90-924Poland National Research University of Electronic Technology Shokin SquareZelenogradMoscow 124498Russia Institute of Nanotechnology of Microelectronics of the RAS INMEMoscow 11-9991Russia Scientific-Manufacturing Complex'Technological Center' ZelenogradMoscow 124498Russia Scientific Research Institute of physical problems named after F V.Lukin Proezd 4806.6ZelenogradMoscow 124460Russia The Australian Wine Research Institute Waite PrecinctHartley Grove cnr Paratoo RoadUrrbrae AdelaideSA 5064Australia

Carbon nanotube （CNT） arrays were fabricated on Ct-Me-N-（O） alloys with content of Ct in the range of 6-40 at.% by chemical vapour deposition. The Ct was a catalytic metal from the group of the following elements： Ni, Co, Fe, pd, while Me was a transition metal from the group of IV-VII of the periodic table （where Me=Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Ta, W, Re）. Carbon nanotubes were found to grow efficiently on the alloy surface with its composition containing Ti, V, Cr, Zr, Hf, Nb or Ta. The growth of CNTs was not observed when the alloy contained W or Re. Additions of oxygen and nitrogen in the alloy facilitated the formation of oxynitrides and catalyst extrusion on the alloy surface. Replacement of the metals in alloy composition affected the diameter of the resulting CNTs. The obtained results showed that the alloy films of varying thickness （10-500 nm） may be used for the CNTs growth. The resulting CNT material was highly homogenous and its synthesis reproducible.

关键词： Carbon nanotubes Amorphous alloys Chemical vapour deposition Catalytic processes Thin films

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