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极紫外光刻的随机性问题及其研究进展

中国激光 2024年第7期51卷 85-104页

作者：王翔何建君魏佳亮朱慧娥张江实验室上海201210

极紫外光刻技术是支撑最先端半导体芯片制造工艺的关键核心技术,有力推动了3 nm工艺节点的量产以及2 nm工艺节点的研发进程。极紫外光刻中的随机缺陷是限制其良率提升的关键难题。一方面,急剧减小的光刻图形特征尺寸对光刻胶各组分化学... 详细信息

极紫外光刻技术是支撑最先端半导体芯片制造工艺的关键核心技术,有力推动了3 nm工艺节点的量产以及2 nm工艺节点的研发进程。极紫外光刻中的随机缺陷是限制其良率提升的关键难题。一方面,急剧减小的光刻图形特征尺寸对光刻胶各组分化学结构的规整性要求越来越高,而光刻胶中存在的组分不均一、后烘过程中光酸迁移距离以及位置的不确定性等因素都会导致缺陷,这些统称为化学随机性问题。另一方面,极紫外光源的波长(13.5 nm)较短,致使其光子密度很低,仅为上一代ArF光刻工艺中所使用光源(193 nm)的1/14,因此光子的散粒噪声大幅增加,导致了不可避免的光子随机性问题。这些问题的存在,使得EUV光刻胶中的材料体系在分子尺寸、分布均一性等方面较上一代光刻材料有着更严格的要求。本文系统性综述了近年来针对极紫外光刻胶中上述随机性问题的研究,并从化学随机性、光子随机性以及计算模拟三个方向对研究现状进行了追踪。

关键词：极紫外化学随机性光子随机性光刻胶光酸迁移距离

Integrated purification of gadolinium and preparation of Gd2O_(3) nanoparticles by DC arc plasma

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Journal of Rare Earths 2021年第12期39卷 1574-1578,I0005页

作者： Zhenggang Tang Minjie Hou Xin he Kai Ye da.Zhang Zhipeng Xie Yongnian da. Feng Liang The National Engineering Laboratory for Vacuum Metallurgy Kunming University of Science and TechnologyKunming 650093China Key Laboratory for Nonferrous Vacuum Metallurgy of Yunnan Province Kunming University of Science and TechnologyKunming 650201China Institute of Physical Education Yunnan Agriculture University State Key Laboratory of Complex Nonferrous Metal Resources Clear Utilization Kunming University of Science and TechnologyKunming 650093.China

The rare-earth metal Gd plays an important role in the energy,information,and national defence fields due to its special optical,electrical,magnetic,and catalytic *** this study,Gd was purified by direct current(DC)arc plasma,and Gd2O_(3) nanoparticles were prepared via an integration method using purified *** effects of arc current,melting time,gas pressure,and atmosphere on the purification of Gd by DC arc plasma were *** an increase in the arc current and melting time,the rate of removal of impurities from Gd ***,Gd melting was conducted by H_(2)-Ar arc plasma,which improves the impurity removal rate by increasing the H_(2) *** thermal conductivity and chemical activity of the activated H atoms generated by the dissociation of H_(2) are the main reasons for the significant improvement in the impurity removal *** mechanism of Gd purification was analysed based on the above-mentioned experimental *** as-synthesised Gd2 O_(3) nanoparticles have a uniform spherical structure(average diameter of 32.7 nm),appropriate dispersibility,and high *** study provides a new strategy for the integrated purification of metals and preparation of metal/metal-based nanomaterials by DC arc plasma.

关键词： Gd DC arc plasma Purification Preparation Nanomaterial Integration

企业如何吸引灵活就业人员?——基于计划行为理论框架的fsQCA分析

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东北大学学报（社会科学版） 2024年第4期26卷 65-72页

作者：王馨贺晨仝青竹大连海事大学航运经济与管理学院辽宁大连116026

灵活就业人员为企业注入新活力,满足企业降本增效的发展需求。基于计划行为理论框架,通过对28名灵活就业人员开展半结构化访谈分析就业选择的影响因素,并采用模糊集定性比较分析法(fsQCA)对332份问卷结果进行组态构建。研究结果表明:灵... 详细信息

灵活就业人员为企业注入新活力,满足企业降本增效的发展需求。基于计划行为理论框架,通过对28名灵活就业人员开展半结构化访谈分析就业选择的影响因素,并采用模糊集定性比较分析法(fsQCA)对332份问卷结果进行组态构建。研究结果表明:灵活就业人员的就业选择受到薪酬福利、工作条件、角色清晰度、社会群体支持、感知有用性与自我效能感的影响,单个前因条件不是产生高就业选择行为的必要条件;实现高就业选择行为的路径可以归纳为三类,即行为态度驱动型、态度—主观规范协同型与自我感知型。

关键词：灵活就业人员就业选择计划行为理论定性比较分析

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医疗污水处理运行阶段碳排放核算研究

环境科学研究 2024年第6期37卷 1215-1222页

作者：何媛媛袁岗傅宏佳四川大学华西第二医院四川成都610000

在我国“双碳”战略背景下,污水处理系统作为城市高碳排放源之一,在碳减排工作中不容忽视。其中,医疗污水处理是城市污水系统的重要一环,然而其碳核算研究却鲜有提及。为探明医疗污水处理运行阶段的碳排放特征,以成都某医院污水处理站... 详细信息

在我国“双碳”战略背景下,污水处理系统作为城市高碳排放源之一,在碳减排工作中不容忽视。其中,医疗污水处理是城市污水系统的重要一环,然而其碳核算研究却鲜有提及。为探明医疗污水处理运行阶段的碳排放特征,以成都某医院污水处理站为研究对象,采用IPCC和国内发布的水业碳核算指南中的排放因子法,对该污水处理站在运营过程中的全流程碳排放进行核算。结果表明:①成都某医院污水处理站全年运行阶段产生的碳排放总量达到189.74 t,处理单位污水碳排放强度为0.53 kg/m^(3),其全年碳排放情况与季节无明显相关性。②电力消耗间接碳排放(82 t)贡献最大,占总碳排量的43.2%,其中鼓风机占比最多,占总碳排量的22.3%。③药剂消耗间接碳排放(61.6 t)贡献为32.5%,其高碳排放是由于医疗污水处理需达到严格的出水标准。④碳减排的关键在于对高能耗设备节能改造以及优化污水处理运行措施。研究显示,医院污水处理站的碳排放特征与城市污水处理厂相比存在差异,该研究的核算结果能够为其他医院污水处理站的碳核算提供参考。

关键词：医院污水温室气体全流程碳排放核算

联合超像素降维和后处理优化的高光谱图像分类方法

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遥感学报 2024年第2期28卷 494-510页

作者：黄媛贺新光万义良湖南师范大学地理科学学院长沙410081 湖南师范大学地理空间大数据挖掘与应用湖南省重点实验室长沙410081

针对高光谱图像样本标签量少且空间—光谱信息利用不充分而导致图像分类精度较低的问题,本文提出一种联合超像素降维和后验概率优化的高光谱图像分类方法。该方法首先基于高光谱图像的空间—光谱信息为每个样本构建局部邻域集合,并从局... 详细信息

针对高光谱图像样本标签量少且空间—光谱信息利用不充分而导致图像分类精度较低的问题,本文提出一种联合超像素降维和后验概率优化的高光谱图像分类方法。该方法首先基于高光谱图像的空间—光谱信息为每个样本构建局部邻域集合,并从局部邻域集合中提取超像素稀疏混合特征来充分表征图像的空谱信息和相关变化信息,然后将全局稀疏混合特征输入支持向量机分类器中生成像素的类别概率向量,最后采用后验概率模型优化类别概率向量,并依据概率最大值得到分类标签图。在3组常用的小规模数据集Indian Pines、Pavia University和Salinas以及一组大规模数据集HoustonU上的实验结果表明:本研究所提出的分类方法能够自适应地充分提取高光谱图像的高判别性特征信息,且在少量样本标签情形下,该方法在这4组实验数据集上分别获得了98.58%、96.88%、98.54%和91.01%的总体分类精度,优于文中对比的7种先进分类方法。

关键词：遥感高光谱图像分类超像素降维混合特征提取后处理优化支持向量机

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基于脑卒中局灶性病变的失眠网络探究

中国CT和MRI杂志 2024年第8期22卷 1-3页

作者：音大为何野方义荣孙文王朋中国科学技术大学附属第一医院(安徽省立医院)医学影像科中国科学技术大学附属第一医院(安徽省立医院)神经内科安徽合肥230001

目的通过分析卒中局灶性病变与卒中后失眠的关系,探讨卒中后失眠的神经解剖基础,为卒中后失眠诊断与治疗提供新的思路。方法本研究前瞻性纳入50名卒中患者为研究对象,使用失眠严重程度指数量表对其失眠状况进行评估,并将患者分为失眠组... 详细信息

目的通过分析卒中局灶性病变与卒中后失眠的关系,探讨卒中后失眠的神经解剖基础,为卒中后失眠诊断与治疗提供新的思路。方法本研究前瞻性纳入50名卒中患者为研究对象,使用失眠严重程度指数量表对其失眠状况进行评估,并将患者分为失眠组与非失眠组。使用体素病变症状映射来检验失眠与病变位置之间的关联。利用大型标准连接组数据集(N=1000)计算病变网络图,检验其与失眠之间的联系,并以此结果定位失眠网络。此外,通过分析网络损伤分数与失眠程度之间的联系,证明失眠网络的可靠性。结果体素病变症状映射分析未发现任何病变体素与失眠显著相关。然而,在病灶网络映射分析中,病变位置映射到一个以右侧丘脑为核心的大脑网络,该网络与失眠组患者局灶性病变的交叉程度显著高于无失眠组病变。结论卒中后失眠患者的病变位置未能映射到任何脑区,而是映射到一个特定的脑网络。该网络可能对卒中后失眠患者的早期诊断和治疗具有重要意义。

关键词：急性缺血性脑卒中体素病变症状映射失眠病灶网络映射

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基于TROPOMI NO_(2)、CO及HCHO重构数据的近地面O_(3)浓度估算研究

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遥感学报 2024年第9期28卷 2348-2361页

作者：陈小娟秦凯 Cohen Jason 何秦中国矿业大学环境与测绘学院徐州221116

以TROPOMI大气成分产品为代表的卫星遥感数据在近地面臭氧(O_(3))浓度估算中表现出很好的潜力。由于云及反演算法局限性等原因,TROPOMI的大气成分产品存在一定的数据缺失,使得基于此的近地面O_(3)浓度估算数据覆盖度较低。为此,本文采... 详细信息

以TROPOMI大气成分产品为代表的卫星遥感数据在近地面臭氧(O_(3))浓度估算中表现出很好的潜力。由于云及反演算法局限性等原因,TROPOMI的大气成分产品存在一定的数据缺失,使得基于此的近地面O_(3)浓度估算数据覆盖度较低。为此,本文采用经验正交函数分解插值法(DINEOF)对TROPOMI NO_(2)、CO、HCHO原始数据产品进行缺失像元重构,并基于重构数据产品采用极限梯度提升算法(XGBoost)估算了中国大陆地区2019年—2021年高覆盖度的日最大8 h平均O_(3)浓度(Mda. O_(3))。对比研究了DINEOF方法对TROPOMI NO_(2)、CO、HCHO原始数据产品的缺失像元进行重构后再建模估算O_(3)的方法(方案1),使用TROPOMI NO_(2)、CO、HCHO原始数据产品并对其缺失像元赋空值并输入其他特征变量来建模估算O_(3)的方法(方案2),有TROPOMI NO_(2)、CO、HCHO原始数据产品的建模结果和无TROPOMI NO_(2)、CO、HCHO原始数据产品,只有其他特征变量的建模结果相结合的方法(方案3),均可提升O_(3)模型估算结果的覆盖度。实验表明:方案1的结果最好,其十折交叉验证R^(2)=0.86,RMSE=15.86μg/m^(3),模型精度和方案2基本一致且高于方案3,在重构区域的模型精度最高(训练集R^(2)=0.82,RMSE=15.57μg/m^(3)),且当重构区域出现O_(3)重污染时(浓度大于160μg/m^(3)),能明显改善模型高值低估现象,结果的空间分布更合理。方案1估算的2019年—2021年近地面Mda. O_(3)的平均覆盖度从33.6%提升到97.2%,使用TROPOMI NO_(2)、CO、HCHO重构数据产品建模估算O_(3)可提升模型性能和模型结果的覆盖度。

关键词：遥感近地面O_(3) TROPOMI DINEOF XGBoost 数据重构

含溴结构域蛋白4在心血管疾病发病机制中的研究进展

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中国病理生理杂志 2024年第6期40卷 1141-1146页

作者：何磊董泉彬李菊香南昌大学第二附属医院心血管内科江西南昌330006

心血管疾病(cardiovascular diseases)一直以来都是我国乃至全球疾病负担的主要原因,其生存率低,发病率一直呈现上升趋势[1]。据推测,我国目前心血管疾病患者高达3亿,导致的死亡人数约占全国死亡人数的40%,有数据显示,我国每年因心血管... 详细信息

心血管疾病(cardiovascular diseases)一直以来都是我国乃至全球疾病负担的主要原因,其生存率低,发病率一直呈现上升趋势[1]。据推测,我国目前心血管疾病患者高达3亿,导致的死亡人数约占全国死亡人数的40%,有数据显示,我国每年因心血管疾病产生的费用高达1700亿元,给医疗卫生保健资源带来了极大的负担[2-3]。心血管疾病涉及冠心病、心律失常、高血压、心肌病和心力衰竭等,虽然临床表现存在差异,但在发病机制中仍有许多相似之处。溴结构域和额外终端域(bromodomain and extra-terminal domain,BET)家族蛋白是一种表观遗传调控蛋白,由含溴结构域蛋白2(bromodomain-containing protein 2,BRD2)、BRD3、BRD4和睾丸特异性含溴结构域蛋白(testis-specific bromodomain-containing protein,BRDT)组成[4]。

关键词：心血管疾病含溴结构域蛋白4 BRD4抑制剂发病机制

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5G通信系统中的大规模天线阵列设计与优化

集成电路应用 2024年第2期41卷 306-307页

作者：韩达中国铁建电气化局集团有限公司北京100041

阐述天线阵列在5G通信系统中的应用、挑战和需求,探讨大规模天线阵列设计与优化,通过合理优化天线阵列的射频参数和应用波束赋形技术,可以实现高容量、大覆盖范围的无线通信网络。

关键词： 5G通信系统大规模天线阵列射频参数