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Wafer Scale Synthesis of Dense Aligned Arrays of Single-Walled Carbon Nanotubes

Nano Research 2008年第2期1卷 158-165页

作者： Weiwei Zhou christopher rutherglen Peter J.Burke Department of Electrical Engineering and Computer Science University of CaliforniaIrvineCA 92697USA

Here we present an easy one-step approach to pattern uniform catalyst lines for the growth of dense,aligned parallel arrays of single-walled carbon nanotubes(SWNTs)on quartz wafers by using photolithography or polydimethylsiloxane(PDMS)stamp microcontact printing(μCP).By directly doping an FeCl3/methanol solution into Shipley 1827 photoresist or polyvinylpyrrolidone(PVP),various catalyst lines can be well-patterned on a wafer *** addition,during the chemical vapor deposition(CVD)growth of SWNTs the polymer layers play a very important role in the formation of mono-dispersed *** universal and effi cient method for the patterning growth of SWNTs arrays on a surface is compatible with the micro-electronics industry,thus enabling of the fabrication highly integrated circuits of SWNTs.

关键词： Single-walled carbon nanotubes(SWNTs) chemical vapor deposition(CVD) photolithography microcontact printing(μCP)

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