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A straightforward spectral emissivity estimating method based on constructing random rough surfaces

Light(Science & Applications) 2023年第12期12卷 2577-2588页

作者： zezhan zhang Mengchao Chen Lichuan zhang Hongzu Li Hairui Huang Zilong zhang Peifeng Yu Yi Niu Shan Gao Chao Wang Jing Jiang Clean Energy Materials and Engineering Center School of Integrated Circuit Science and EngineeringUniversity of Electronic Science and Technology of ChinaChengduChina College of Information and Communication Engineering Harbin Engineering UniversityHarbinChina Department of Precision Instrument Tsinghua UniversityBeijingChina

Spectral emissivity is an essential and sensitive parameter to characterize the radiative capacity of the solid surface in scientific and engineering applications,which would be non-negligibly affected by surface ***,there is a lack of assessment of the effect of roughness on emissivity and a straightforward method for estimating the emissivity of rough *** paper established an estimating method based on constructing random rough surfaces to predict rough surface(Geometric region)emissivity for metal *** on this method,the emissivity of ideal gray and non-gray body surfaces was calculated and *** calculated and measured spectral emissivities of GH3044,K465,DD6,and TC4 alloys with different roughness were *** results show that the emissivity increases with the roughness degree,and the enhancement effect weakens with the increase of roughness or emissivity due to the existing limit(emissivityε=1.0).At the same time,the roughness would not change the overall spectral distribution characteristics but may attenuate the local features of the spectral *** estimated results are in good agreement with the experimental data for the above alloys'rough *** study provides a new reliable approach to obtaining the spectral emissivity of rough *** approach is especially beneficial for measuring objects in extreme environments where emissivity is difficult to ***,this study promotes an understanding of surface morphology's effect mechanism on emissivity.

关键词： alloys roughness estimating

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集成电路制造过程中的晶圆温度监测技术

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仪器仪表学报 2021年第1期42卷 15-29页

作者：贾镜材钟业奎张泽展姜晶王超电子科技大学电子科学与工程学院成都610000

随着集成电路的不断发展,低功耗与小面积逐渐成为芯片设计中的重要指标,促使形成电路的器件尺寸不断降低。在半导体芯片制造过程中,越小的器件尺寸对工艺过程中温度控制的精度要求越高,晶圆温度的轻微偏离和高于1%的温度不均匀性将会直... 详细信息

随着集成电路的不断发展,低功耗与小面积逐渐成为芯片设计中的重要指标,促使形成电路的器件尺寸不断降低。在半导体芯片制造过程中,越小的器件尺寸对工艺过程中温度控制的精度要求越高,晶圆温度的轻微偏离和高于1%的温度不均匀性将会直接影响最终产品的良率。为实现温度与温度场分布的高精度控制,需要对其进行更为精确的预先检测与实时获取,集成电路制造中的晶圆温度监测技术应运而生。围绕接触式和非接触式两大测温技术分支,介绍了监测温度范围为0℃~1 300℃的晶圆温度监测技术原理。本文基于原理分析各技术所具有的优势与仍然不能满足的测温技术要求,追踪各测温技术的国内外发展现状,展望了未来晶圆温度监测技术的发展方向。

关键词：温度监测晶圆接触式非接触式

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磷酸盐改性生物炭对尾矿污染土壤中铅和锌的固定作用

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矿业工程研究 2021年第3期36卷 72-78页

作者：张泽展许中坚湖南科技大学化学化工学院湖南湘潭411201 湖南科技大学分子构效关系湖南省普通高校重点实验室湖南湘潭411201

为探究磷酸盐改性生物炭对尾矿污染土壤的修复潜能,分别按KH_(2)PO_(4)与稻壳质量比值为0,0.5,1,2对稻壳进行浸渍改性,在350,550,750℃下保温3 h制备生物炭,通过吸附试验和土壤培养试验,考察了改性生物炭对尾矿污染土壤中Pb和Zn的固定作... 详细信息

为探究磷酸盐改性生物炭对尾矿污染土壤的修复潜能,分别按KH_(2)PO_(4)与稻壳质量比值为0,0.5,1,2对稻壳进行浸渍改性,在350,550,750℃下保温3 h制备生物炭,通过吸附试验和土壤培养试验,考察了改性生物炭对尾矿污染土壤中Pb和Zn的固定作用.结果表明:KH_(2)PO_(4)改性生物炭对溶液中Pb和Zn的吸附量明显增大,制备温度为550℃,浸渍改性时KH_(2)PO_(4)与稻壳质量比值为1的改性生物炭对溶液中Pb和Zn的吸附量最大;尾矿污染土壤添加生物炭后明显降低土壤中Pb和Zn的有效态,对Pb有效态的抑制作用大于对Zn有效态的抑制作用,改性生物炭的抑制作用大于未改性生物炭的抑制作用;生物炭明显提高对尾矿酸性废水污染土壤中Pb和Zn的固定作用,对Pb的固定作用大于对Zn的固定作用,改性生物炭的固定作用大于未改性生物炭的固定作用.

关键词：磷酸盐改性生物炭稻壳尾矿污染土壤铅锌固定

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