检索结果-南通市图书馆

Nanomanufacturing and Metrology 2022年第2期5卷 119-126页

作者： Fang Wang yushu shi Shu Zhang Xixi Yu Wei Li National Institute of Metrology Beijing100029China Shenzhen Institute for Technology Innovation National Institute of MetrologyShenzhen518038China

Line width(i.e.,critical dimension,CD)is a crucial parameter in integrated *** accurately control the CD in manufacturing,a reasonable CD measurement algorithm is *** develop an automatic and accurate method based on a two-dimensional discrete Fourier transform for measuring the lattice spacings from high-resolution transmission electron microscopy *** the two-dimensional inverse discrete Fourier transform of the central spot and a pair of symmetrical diffraction spots,an image containing only a set of lattice spacings is ***,the pixel span of the lattice spacing is calculated through the centre of gravity ***,we estimate the standard CD value according to the half-intensity *** silicon crystal lattice constant guarantees the accuracy and traceability of the CD *** experiments,we demonstrate the efficiency of the proposed method,which can be conveniently applied to accurately measure CDs in practical applications.

关键词： Transmission electron microscopy Line width Crystal lattice constant Traceability

Characterization of a nano line width reference material based on metrological scanning electron microscope

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Chinese Physics B 2022年第5期31卷 203-211页

作者： Fang Wang yushu shi Wei Li Xiao Deng Xinbin Cheng Shu Zhang Xixi Yu National Institute of Metrology Beijing 100029China Tongji University Shanghai 200092China Shenzhen Institute Technology Innovation National Institute of MetrologyShenzhen 518038China

The line width(often synonymously used for critical dimension,CD)is a crucial parameter in integrated *** accurately control CD values in manufacturing,a reasonable CD reference material is required to calibrate the corresponding *** develop a new reference material with nominal CDs of 160 nm,80 nm,and 40 *** line features are investigated based on the metrological scanning electron microscope which is developed by the National Institute of Metrology(NIM)in ***,we propose a new characterization method for the precise measurement of CD *** filtering and leveling the intensity profiles,the line features are characterized by the combination model of the Gaussian and Lorentz *** left and right edges of CD are automatically extracted with the profile decomposition and k-means *** the width of the two edges at the half intensity position is regarded as the standard CD ***,the measurement results are evaluated in terms of the sample,instrument,algorithm,and *** experiments indicate efficiency of the proposed method which can be easily applied in practice to accurately characterize CDs.

关键词： critical dimension line width metrological scanning electron microscopy traceability

Active coherent control of nanoscale light confinement：Modulation of plasmonic modes and position of hotspots for surface-enhanced Raman scattering detection

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Nano Research 2017年第9期10卷 2934-2943页

作者： Zhendong Zhu Qixia Wang Fa Zeng Oubo You Sitian Gao Benfeng Bai Qiaofeng Tan Guofan Jin Qunqing Li Shoushan Fan Wei Li yushu shi Xueshen Wang Division ofNano Metrology and Materials Measurement National Institute ofMetrology Beijing 100028 China State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments Department of Precision Instrument Tsinghua University Beijing 100084 China Tsinghua-Foxconn Nanotechnology Research Center Tsinghua University Beijing 100084 China Laser Fusion Research Center China Academic of Engineering Physics Mianyang 621900 China

Multistep plasmonic nanostructures can induce the deep modulation of electromagnetic-field interactions on the nanoscale for positioning hotspots, and this generation of enhanced fields is important in many optical applications. In this article, a new strategy is proposed for fabricating a plasmonic doublestacked nanocone (DSC) nanostructure. In the DSC structure, a tunable plasmonic hybrid mode proceeds from the strong coupling of the plasmonic resonance of a fundamental cavity mode with a localized surface plasmon gap mode. In the nanostructure, the far-field response is deeply modulated and the hottest spots can be effectively positioned on the top surface of the DSC nanostructure. A controllable and cost-effective mask-reconfiguration technique for manufacturing the multiscale nanostructure is developed, which guarantees the generation of the introduced crucial stage on the DSC nanostructure. To evaluate the features of the plasmonic resonance, the DSC nanostructure is used as a surface-enhanced Raman scattering (SERS) substrate for detecting 4-mercaptopyridine molecules under specific excitation conditions. Its good performance, with an average measured SERS enhancement factor as high as 108, demonstrates its strong plasmonic-mode hybridization and extreme field enhancement.

关键词： surface plasmons mode hybridization positioning hotspot double-stacked nanocone (DSC) nanostructure surface-enhanced Raman scattering (SERS)

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地下管线的雷达剖面图像处理方法研究

测绘通报 2020年第S01期 127-130,154页

作者：时煜姝上海市测绘院上海200063

地下管线被人们称为城市的生命线,其对于城市的规划、建设和管理工作至关重要。人们通常借助探地雷达来探明地下管线的具体位置,探地雷达所具备的非开挖和操作简便特征可大幅减少工作量、节约外业成本,然而地质雷达剖面的解释工作则要... 详细信息

地下管线被人们称为城市的生命线,其对于城市的规划、建设和管理工作至关重要。人们通常借助探地雷达来探明地下管线的具体位置,探地雷达所具备的非开挖和操作简便特征可大幅减少工作量、节约外业成本,然而地质雷达剖面的解释工作则要求具备较高的物探专业知识和经验,对高效生产造成了一定的阻碍。为此本文利用基于Canny边缘检测算子的图像处理边缘检测技术提取雷达剖面中的管线,选择非局部均值去噪(NL-means)代替高斯模糊,并使用改进型算子代替Roberts算子,通过该技术识别的同相轴更加清晰、显著,使其能够更加适用于雷达剖面的管线识别,能够进一步提高管线识别的精度与工作效率,为地下管线的自动追踪、自动成图作铺垫。

关键词：地下管线雷达剖面图像处理

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基于暗场线扫技术的球体表面缺陷检测技术

光子学报 2023年第12期52卷 99-111页

作者：黄涵史舟淼施玉书张树胡佳成中国计量大学计量测试工程学院杭州310018 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院深圳518107 中国计量科学研究院前沿计量科学中心北京100029

钢球的球体几何特性令表面上的缺陷难以连贯成像引起漏检或缺陷畸变被误判,且钢球的镜面反射效应可能造成缺陷信号被周围环境的像和高反亮斑淹没,导致缺陷漏检。为此,提出了一种基于光学暗场线扫描技术的钢球表面缺陷检测方法,设计搭建... 详细信息

钢球的球体几何特性令表面上的缺陷难以连贯成像引起漏检或缺陷畸变被误判,且钢球的镜面反射效应可能造成缺陷信号被周围环境的像和高反亮斑淹没,导致缺陷漏检。为此,提出了一种基于光学暗场线扫描技术的钢球表面缺陷检测方法,设计搭建了一套适用于高反射率钢球的暗场线扫表面缺陷检测系统,开发了图像预处理、畸变校正、缺陷提取、点云重建、分割和过滤等算法,建立球面图像点间的空间几何关系,成功将钢球表面缺陷在三维球面上重构,实现了轴承钢球表面缺陷的三维连贯检测。实验结果表明,对表面完好的无损球测量重复性为0.14%,对表面带有缺陷的磨损球测量重复性为0.11%。

关键词：图像处理球面缺陷检测暗场线扫描钢球球面三维重建

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我国微纳几何量计量技术的研究进展

仪器仪表学报 2017年第8期38卷 1822-1829页

作者：高思田李琪施玉书李伟黄鹭中国计量科学研究院北京100029

随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先... 详细信息

随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究。目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微纳几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍,并对我国微纳计量的未来发展做出了展望。

关键词：微纳几何量关键尺寸量值准确溯源标准装置

纳米级稠化剂颗粒沉积膜在乏脂润滑中的作用机制研究

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摩擦学学报 2017年第6期37卷 725-733页

作者：黄鹭高思田施玉书温诗铸温天佑中国计量科学研究院北京100029 清华大学摩擦学国家重点实验室北京100084 福斯(中国)有限公司上海201802

利用双光束干涉法对点接触区乏脂润滑成膜特性规律以及接触区附近润滑剂的微观迁移特性进行了观测.在试验条件下,接触区会经历充分润滑—乏脂—沉积膜润滑—分离油润滑等润滑状态.借助原子力显微镜,探测到沉积膜是润滑脂的稠化剂被碾压... 详细信息

利用双光束干涉法对点接触区乏脂润滑成膜特性规律以及接触区附近润滑剂的微观迁移特性进行了观测.在试验条件下,接触区会经历充分润滑—乏脂—沉积膜润滑—分离油润滑等润滑状态.借助原子力显微镜,探测到沉积膜是润滑脂的稠化剂被碾压破碎而沉积在滚压轨道表面的一层纳米级颗粒薄膜;而分离油是在剪切过程中润滑脂内逐渐释放基础油.试验初始,接触区周围的润滑脂池因乏脂而迅速消失,但分离油会逐渐形成"第二相油池"以实现回流补给.沉积膜增大了基础油在滚动轨道表面的接触角,阻碍回流补给,但其会随运动逐渐磨损,此后分离油将进入接触区补充润滑膜.初步发现,当分离油不充足时,沉积膜有利于保护润滑轨道.

关键词：乏脂润滑油池分离油稠化剂沉积膜表面润湿回流补给

亚50 nm台阶高度标准物质的可控制备及定值研究

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仪器仪表学报 2022年第11期43卷 86-93页

作者：张雅馨王琛英景蔚萱施玉书蒋庄德西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049 西安交通大学高端制造装备协同创新中心西安7710049 中国计量科学研究院北京100029

纳米台阶高度标准物质可以传递准确、可溯源的纳米高度量值。针对我国缺乏可控的高质量亚50 nm台阶高度标准物质制备技术的问题,提出了基于原子层沉积结合湿法刻蚀的纳米台阶高度标准物质研制方法,通过工艺过程优化实现了台阶高度亚纳... 详细信息

纳米台阶高度标准物质可以传递准确、可溯源的纳米高度量值。针对我国缺乏可控的高质量亚50 nm台阶高度标准物质制备技术的问题,提出了基于原子层沉积结合湿法刻蚀的纳米台阶高度标准物质研制方法,通过工艺过程优化实现了台阶高度亚纳米量级精确可控,制备出了最小公称高度仅为5 nm的亚50 nm台阶高度标准物质系列。其定值结果可溯源到米定义波长基准,扩展不确定度不超过2.0 nm,均匀性和稳定性较好,不同测试仪器一致性水平较高。研究结果表明,所研制的纳米台阶高度标准物质可以用于亚50 nm高度量值传递以及多种测量仪器之间量值的比对测量,其产业化批量生产的前景也将为半导体产业提供完善的计量保障。

关键词：台阶高度标准物质亚50 nm 原子层沉积技术(ALD) 计量学

基于原子力显微术的5 nm台阶高度标准物质溯源与定值技术研究

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仪器仪表学报 2020年第3期41卷 79-86页

作者：施玉书李伟余茜茜景蔚萱胡晓东天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 中国计量科学研究院北京100029 西安交通大学西安710049

纳米台阶高度标准物质是一种具有特定量值的物理标准物质,主要用于量值传递以及相关纳米测量仪器的校准。在获批国家标准物质之前,其量值的准确性、稳定性等计量特性必须经过严格的计量测试,才能得到行政许可部门的认可。针对5 nm这一... 详细信息

纳米台阶高度标准物质是一种具有特定量值的物理标准物质,主要用于量值传递以及相关纳米测量仪器的校准。在获批国家标准物质之前,其量值的准确性、稳定性等计量特性必须经过严格的计量测试,才能得到行政许可部门的认可。针对5 nm这一较小量值的纳米台阶高度标准物质的定值方法进行了详细介绍,由中国计量科学研究院自主研制建立的毫米级纳米几何结构计量标准装置采用单一原级的定值方式进行严格定值,采用方差分析法进行均匀性检验,保障了台阶高度量值的溯源性与准确性,定值结果为:h=(5.8±1.0) nm,k=2,并在12个月的时间内进行稳定性监测,最终实现了国家一级标准物质的成功申报。

关键词：原子力显微镜标准物质台阶高度溯源性计量学

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完善民事诉讼证人出庭制度的思考

邯郸职业技术学院学报 2005年第3期18卷 23-26页

作者：史裕曙邯郸职业技术学院文法系河北邯郸056001

在我国,证人出庭作证是一个普遍的难题。分析了目前我国民事诉讼中证人出庭作证制度存在的问题及其原因,借鉴外国立法例,对于完善我国民事诉讼证人出庭作证制度提出了一些看法。

关键词：民事诉讼证人出庭作证制度