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High-performance waveguide-integrated germanium PIN photodiodes for optical communication applications[Invited]

Photonics Research 2013年第3期1卷 140-147页

作者： Léopold Virot Laurent Vivien Jean-Marc Fédéli yann bogumilowicz Jean-Michel Hartmann Frédéric Bœuf Paul Crozat Delphine Marris-Morini Eric Cassan Institut d’Electronique Fondamentale(IEF) Univ.Paris-SudCNRSBât 220F-91405 OrsayFrance CEA LETIMinatec Campus17 rue des MartyrsF-38054 GrenobleFrance STMicroelectronics Silicon Technology DevelopmentCrollesFrance

This paper reports on high-performance waveguide-integrated germanium photodiodes for optical communications applications.200 mm wafers and production tools were used to fabricate the *** over 97%were obtained for three different compact photodiodes(10×10μm and intrinsic region width of 0.5,0.7,and 1μm)within the same batch of three *** photodiodes exhibit low dark currents under reverse bias with median values of 74,62,and 61 nA for intrinsic widths of 0.5,0.7,and 1μm,respectively,over a full *** up to 0.78 A∕W at 1550 nm and zero bias were *** bias operation is possible for 25 and 40 Gbps with receiver sensitivity estimated to−13.9 and−12.3 dBm,respectively.

关键词： waveguide optical communication

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