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Manufacture and characterization of graphene membranes with suspended silicon proof masses for MEMS and NEMS applications

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Microsystems & Nanoengineering 2020年第1期6卷 1050-1066页

作者： xuge fan Anderson D.Smith Fredrik Forsberg Stefan Wagner Stephan Schroder Sayedeh Shirin Afyouni Akbari Andreas C.Fischer Luis Guillermo Villanueva Mikael Ostling Max C.Lemme Frank Niklaus Division of Micro and Nanosystems School of Electrical Engineering and Computer ScienceKTH Royal Institute of TechnologySE-10044 StockholmSweden Division of Integrated Devices and Circuits School of Electrical Engineering and Computer ScienceKTH Royal Institute of TechnologySE-16440 KistaSweden Faculty of Electrical Engineering and Information Technology RWTH Aachen UniversityOtto-Blumenthal-Str.2552074 AachenGermany Advanced NEMS Group École Polytechnique Fédérale de Lausanne(EPFL)1015 LausanneSwitzerland Silex Microsystems AB 17526 JärfällaSweden AMO GmbH Advanced Microelectronic Center Aachen(AMICA)Otto-Blumnethal-Str.2552074 AachenGermany

Graphene’s unparalleled strength,chemical stability,ultimate surface-to-volume ratio and excellent electronic properties make it an ideal candidate as a material for membranes in micro-and nanoelectromechanical systems(MEMS and NEMS).However,the integration of graphene into MEMS or NEMS devices and suspended structures such as proof masses on graphene membranes raises several technological challenges,including collapse and rupture of the *** have developed a robust route for realizing membranes made of double-layer CVD graphene and suspending large silicon proof masses on membranes with high *** have demonstrated the manufacture of square graphene membranes with side lengths from 7µm to 110µm,and suspended proof masses consisting of solid silicon cubes that are from 5µm×5µm×16.4µm to 100µm×100µm×16.4µm in *** approach is compatible with wafer-scale MEMS and semiconductor manufacturing technologies,and the manufacturing yields of the graphene membranes with suspended proof masses were>90%,with>70%of the graphene membranes having>90%graphene area without visible *** measured resonance frequencies of the realized structures ranged from tens to hundreds of kHz,with quality factors ranging from 63 to *** graphene membranes with suspended proof masses were extremely robust,and were able to withstand indentation forces from an atomic force microscope(AFM)tip of up to~*** proposed approach for the reliable and large-scale manufacture of graphene membranes with suspended proof masses will enable the development and study of innovative NEMS devices with new functionalities and improved performances.

关键词： proof characterization hundreds

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Nanoelectromechanical Sensors Based on Suspended 2D Materials

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Research 2020年第1期2020卷 1612-1636页

作者： Max C.Lemme Stefan Wagner Kangho Lee xuge fan Gerard J.Verbiest Sebastian Wittmann Sebastian Lukas Robin J.Dolleman Frank Niklaus Herre S.Jvan der Zant Georg S.Duesberg Peter G.Steeneken Chair of Electronic Devices RWTH Aachen UniversityOtto-Blumenthal-Str.252074 AachenGermany AMO GmbH Advanced Microelectronic Center Aachen(AMICA)Otto-Blumenthal-Str.2552074 AachenGermany Institute of Physics Faculty of Electrical Engineering and Information TechnologyUniversität der Bundeswehr MünchenWerner-Heisenberg-Weg 3985577 NeubibergGermany Division of Micro and Nanosystems KTH Royal Institute of TechnologyMalvinas Vag 1010044 StockholmSweden Department of Precision and Microsystems Engineering Delft University of TechnologyMekelweg 22628 CD DelftNetherlands Infineon Technologies AG Wernerwerkstraße 293049 RegensburgGermany nd Institute of Physics RWTH Aachen UniversityOtto-Blumenthal-Str.52074 AachenGermany Kavli Institute of Nanoscience Delft University of TechnologyLorentzweg 12628 CJ DelftNetherlands

The unique properties and atomic thickness of two-dimensional(2D)materials enable smaller and better nanoelectromechanical sensors with novel *** the last decade,many studies have successfully shown the feasibility of using suspended membranes of 2D materials in pressure sensors,microphones,accelerometers,and mass and gas *** this review,we explain the different sensing concepts and give an overview of the relevant material properties,fabrication routes,and device operation ***,we discuss sensor readout and integration methods and provide comparisons against the state of the art to show both the challenges and promises of 2D material-based nanoelectromechanical sensing.

关键词： Sensors enable accelerometer

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金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线及应用

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应用化学 2013年第11期30卷 1257-1264页

作者：范绪阁李国才程超群胡杰太原理工大学信息工程学院太原030024

金属辅助化学刻蚀是近些年发展起来的一种各向异性湿法刻蚀,利用该方法可以制备出高长径比的半导体一维纳米结构。本文综述了金属辅助化学刻蚀法可控制备硅纳米线的最新进展,简要概述了刻蚀的基本过程与机制,重点阐述了基于不同模板的... 详细信息

金属辅助化学刻蚀是近些年发展起来的一种各向异性湿法刻蚀,利用该方法可以制备出高长径比的半导体一维纳米结构。本文综述了金属辅助化学刻蚀法可控制备硅纳米线的最新进展,简要概述了刻蚀的基本过程与机制,重点阐述了基于不同模板的金属辅助化学刻蚀可控制备高度有序、高长径比的硅纳米线阵列的具体流程与工艺,并介绍了其在锂离子电池、太阳能电池、气体传感检测和仿生超疏水等方面的潜在应用,探讨了目前存在的问题及其今后的研究发展方向。

关键词：硅纳米线金属辅助化学刻蚀可控制备模板锂离子电池

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新一代钻井井史管理系统的设计与展望

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石油钻探技术 2008年第2期36卷 1-3页

作者：樊洪海纪荣艺刘鹏李绪阁中国石油大学石油工程教育部重点实验室北京昌平102249

从可实现的角度和新软件发展观出发,阐述了目前钻井井史管理系统的现状和特点,指明了新一代钻井井史系统设计的关键技术。弹性的数据库设计将为数据挖掘带来方便,柔性的软件框架设计将为平台提供无限的功能扩展。创新性地提出了以支持... 详细信息

从可实现的角度和新软件发展观出发,阐述了目前钻井井史管理系统的现状和特点,指明了新一代钻井井史系统设计的关键技术。弹性的数据库设计将为数据挖掘带来方便,柔性的软件框架设计将为平台提供无限的功能扩展。创新性地提出了以支持插件为代表的新一代钻井井史管理软件架构,将新的软件设计思维注入到石油钻井系统的开发中。

关键词：钻井井史管理系统数据采集

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新型钻井数据库设计

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断块油气田 2010年第3期17卷 382-384页

作者：樊洪海刘鹏纪荣艺王果李绪阁中国石油大学石油工程教育部重点实验室北京102249 中国石化石油工程技术研究院北京100101

随着数据库开发技术的发展和钻井工艺技术的进步,基于以前数据库行业标准设计的钻井数据库已满足不了新的要求。因此,设计新型钻井数据库及开发新的数据库管理系统具有重要的现实意义。新型钻井数据库按照标准化、规范化、灵活性、开放... 详细信息

随着数据库开发技术的发展和钻井工艺技术的进步,基于以前数据库行业标准设计的钻井数据库已满足不了新的要求。因此,设计新型钻井数据库及开发新的数据库管理系统具有重要的现实意义。新型钻井数据库按照标准化、规范化、灵活性、开放性等原则设计,大大提高了钻井数据库的性能。新型钻井数据库具有优化的数据结构,以井眼作为贯穿整个结构的主线,数据表间结构合理,符合钻井工艺流程,满足多分支井、丛式井等各种井型的要求;数据项齐全,以满足目前需要为前提,考虑可能存在的扩充;字段遵循规范的英文命名原则,方便数据库的开发、维护和多语言显示;利用规范的编码表,规范数据录入,保证统计分析准确;强大的内置计算功能,减少人工输入量,保证数据的准确性和完整性;良好的兼容性和安全性,保证数据库之间的数据共享和数据安全。

关键词：钻井数据库功能兼容安全优化设计

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空气源冷水机组性能的实验分析

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低温与超导 2020年第10期48卷 85-89,95页

作者：陈鑫冯士伟李旭阁桂超郑州市建筑设计院郑州450052 新乡学院土木工程与建筑学院新乡453003

基于现有机组对设备运行环境对机组性能的影响进行分析,不仅可为机组故障分析提供方向,还可为提高机组整体性能提供改进方案。经实验验证发现:实验变量均通过改变系统高低压影响机组性能,其中冷凝温度随风量的增加、风温的降低而降低,... 详细信息

基于现有机组对设备运行环境对机组性能的影响进行分析,不仅可为机组故障分析提供方向,还可为提高机组整体性能提供改进方案。经实验验证发现:实验变量均通过改变系统高低压影响机组性能,其中冷凝温度随风量的增加、风温的降低而降低,蒸发温度随出水温度的升高、水流量的减小而升高;工质流量和单位质量制冷量直接影响机组制冷量,而机组制冷量随风温的升高、出水温度的降低、风量的减小、水流量的增大而减小;机组功耗主要包括压缩机功耗、风机功耗、水泵功耗三部分,风温和出水温度主要通过影响压缩机功耗改变机组总功耗,而风量、水流量的增加直接增大了风机功耗、水泵功耗,因此,机组COP随风温的升高、出水温度的降低、水量的增大而减小,随风量的增加呈现先升高后减小的变化趋势。

关键词：制冷量 COP 风量出水温度风温水流量

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鹌鹑GNAS基因的多态性与产蛋性能和蛋品质的关联分析

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黑龙江畜牧兽医 2021年第9期 139-142,148,167页

作者：陈宇白俊艳王亮陈梦柯范征宇李淦雷莹王新乐李静云董智豪王龙威冀祥贾小平庞有志樊红灯王纪远任旭鸽张溢满赵郑歌河南科技大学动物科技学院河南洛阳471023 洛阳市动物遗传育种重点实验室河南洛阳471023 河南科技大学农学院河南洛阳471023

为了分析GNAS基因与鹌鹑产蛋性能和蛋品质的关联性,试验采用限制性片段长度多态性聚合酶链反应(PCR-RFLP)方法对不同羽色鹌鹑的GNAS基因进行多态性检测,并分析了GNAS基因与鹌鹑产蛋性能和蛋品质的关联性。结果表明:在GNAS基因中分别检测... 详细信息

为了分析GNAS基因与鹌鹑产蛋性能和蛋品质的关联性,试验采用限制性片段长度多态性聚合酶链反应(PCR-RFLP)方法对不同羽色鹌鹑的GNAS基因进行多态性检测,并分析了GNAS基因与鹌鹑产蛋性能和蛋品质的关联性。结果表明:在GNAS基因中分别检测到TT、CT、CC这3种基因型。GNAS基因在中国黄羽鹌鹑、北京白羽鹌鹑、朝鲜鹌鹑中的TT基因型频率分别为0.7778,0.7755,0.8571;CT基因型频率分别为0.2222,0.1633,0.1429;GNAS基因在北京白羽鹌鹑中的CC基因型频率为0.0612,在另外两个鹌鹑品种中未检测到CC基因型个体。GNAS基因TT基因型和CT基因型的产蛋总重、产蛋率和开产体重显著高于CC基因型(P<0.05)。GNAS基因CC基因型的蛋黄指数显著高于CT基因型(P<0.05),TT和CT基因型的蛋壳厚度显著高于CC基因型(P<0.05)。说明GNAS基因与鹌鹑的产蛋总重、产蛋率、开产体重、蛋黄指数和蛋壳厚度有显著关联性。

关键词：鹌鹑 GNAS基因多态性检测多态信息含量产蛋性能

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