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Influence of Ar/N_2.Flow Rate on Structure and Property for TaN/NbN Multilayered Coatings

Journal of Materials Science & Technology 2007年第4期23卷 461-464页

作者： xuehua zhang {2. kang sipeng liu qiang li ying yang Xiangyun deng dejun li College of Physics and Electronic Information Science Tianjin Normal University Tianjin 300074 China

TaN/NbN multilayered coatings with nanoscale bilayer periods were synthesized at different Ar/N2.flow rates by RF （radio frequency） magnetron sputtering. XRD （X-ray diffraction） and Nano Indenter System were employed to investigate the influence of Ar/N2.flow rate （FAr：FN2. on microstructure and mechanical properties of the coatings. The low-angle XRD pattern indicated a well-defined composition modulation and layer structure of the multilayered coating. All multilayered coatings almost revealed higher hardness than the rule-of-mixtures value of monolithic TaN and NbN coatings. At FAr：FN2.10, the multilayered coating possessed desirable hardness, elastic modulus, internal stress, and fracture resistance, compared with ones synthesized at other Ar/N2.flow rates. The layered structure with strong mixture of TaN （110）, （111）, （2.0） and Nb2. （101）textures should be related to the enhanced mechanical properties.

关键词： RF magnetron sputtering TaN/NbN multilayered coatings Nanoscale mechnical properties

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