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Preparation and characterization of microcrack-free thick YBa_2Cu_3O_(7-δ) films

Rare Metals 2007年第5期26卷 403-407页

作者： xiong jie qin wenfeng tang jinlong tao bowan cui xumei li yanrong State Key Lab of Electronic Thin Films and Integrated Devices University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054 China

High quality epitaxial YBa2Cu3O7-δ （YBCO） superconducting films were fabricated on （00l） LaAlO3 substrates using the direct-current sputtering method. The attainment of an unusually high film thickness （up to 2.0 μm） without mi-crocracking was attributed in part to the presence of pores correlated with yttrium-rich composition in the films. The influ-ence of the film thickness on the microstructure was investigated by X-ray diffraction conventional scan （θ-2θ,ω-scan,pole figure） and high-resolution reciprocal space mapping. The films were c-axis oriented with no a-axis-oriented grains up to the thickness of 2 μm. The surface morphology and the critical current density （Jc） strongly depended on the film thickness. Furthermore,the reasons for these thickness dependences were elucidated in detail.

关键词： YBCO superconducting film microcrack-free thick film critical current density direct-current sputtering method

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