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Advances in high-performance MEMS pressure sensors:design,fabrication,and packaging

Microsystems & Nanoengineering 2023年第6期9卷 43-76页

作者： Xiangguang Han Mimi Huang Zutang Wu Yi Gao Yong Xia Ping Yang Shu Fan Xuhao Lu Xiaokai Yang Lin Liang wenbi su Lu Wang Zeyu Cui Yihe Zhao Zhikang Li Libo Zhao Zhuangde Jiang State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering Xi'an Jiaotong UniversityXi'an710049China International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies Xi'an Jiaotong UniversityXi'an710049China School of Mechanical Engineering Xi'an Jiaotong UniversityXi'an710049China Northwest Institute of Nuclear Technology Xi'an710024China

Pressure sensors play a vital role in aerospace,automotive,medical,and consumer *** microelectromechanical system(MEMS)-based pressure sensors have been widely used for decades,new trends in pressure sensors,including higher sensitivity,higher accuracy,better multifunctionality,smaller chip size,and smaller package size,have recently *** demand for performance upgradation has led to breakthroughs in sensor materials,design,fabrication,and packaging methods,which have emerged frequently in recent *** paper reviews common new trends in MEMS pressure sensors,including minute differential pressure sensors(MDPSs),resonant pressure sensors(RPSs),integrated pressure sensors,miniaturized pressure chips,and leadless pressure *** realize an extremely sensitive MDPS with broad application potential,including in medical ventilators and fire residual pressure monitors,the“beam-membrane-island”sensor design exhibits the best performance of 66μV/V/kPa with a natural frequency of 11.3 *** high-accuracy applications,silicon and quartz RPS are analyzed,and both materials show±0.01%FS accuracy with respect to varying temperature coefficient of frequency(TCF)control *** improve MEMS sensor integration,different integrated“pressure+x”sensor designs and fabrication methods are *** this realm,the intercoupling effect still requires further *** fabrication methods for microsized pressure sensor chips are also *** date,the chip thickness size can be controlled to besure sensor was analyzed,offering an extremely small package size and harsh environmental *** review is structured as *** background of pressure sensors is first ***,an in-depth introduction to MEMS pressure sensors based on different application scenarios is ***,their respective characteristics and significant advancem

关键词： performance breakthrough offering

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祁连山东缘高寒草甸灌丛化对植被群落与土壤理化特性的影响

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生态学报 2024年第14期44卷 6208-6218页

作者：包段红孙小妹张志明王文碧杨婷王艳王静苏军虎甘肃农业大学草业学院/草业生态系统教育部重点实验室兰州730070 甘肃农业大学-新西兰梅西大学草地生物多样性研究中心兰州730070 甘肃省祁连山草原生态系统野外科学观测研究站武威733000 甘肃农业大学资源与环境学院兰州730070 兰州职业技术学院兰州730070

为明晰祁连山东缘高寒草甸灌丛化对其植被群落与土壤理化特性的影响,选取甘肃省天祝藏族自治县高寒草甸灌丛化区域,调查其植被,采集土壤测定理化性质,分析植被与土壤的互馈关系。结果表明:高寒草甸植被的均匀度指数、高度、盖度、地上... 详细信息

为明晰祁连山东缘高寒草甸灌丛化对其植被群落与土壤理化特性的影响,选取甘肃省天祝藏族自治县高寒草甸灌丛化区域,调查其植被,采集土壤测定理化性质,分析植被与土壤的互馈关系。结果表明:高寒草甸植被的均匀度指数、高度、盖度、地上生物量、土壤含水率随灌丛化过程增加(P<0.05),而多样性指数和容重均降低;全磷含量在各土层以灌丛区最高,但C∶P和N∶P以草甸区最高;土壤N∶P<14表明土壤养分主要受限于氮;土壤脲酶和过氧化氢酶活性在草甸区各土层显著高于灌丛区(P<0.05);冗余分析显示前两个排序轴的累计解释量为54.88%,土壤过氧化氢酶与植被特征拟合的结果最好(Pr=0.010),表明高寒草甸灌丛化过程中土壤过氧化氢酶受植被特征的制约最大。可见,高寒草甸灌丛化显著影响了植被群落结构与土壤理化特性,在祁连山生态保护和管理中应该予以重视。

关键词：高寒草甸灌丛化土壤酶活性化学计量特征植被特征

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吡柔比星致皮肤重度烧灼伤1例

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护理研究 2003年第5A期17卷 555-555页

作者：杜文碧苏严严王欢成都铁路局成都铁路中心医院

1病例简介病人,女,40岁,乳腺癌术后化疗.2002年5月15日,护士为病人计划输液2 500ml,10:00静脉推注5%葡萄糖20 ml加吡柔比星50 mg后继续输液.

关键词：吡柔比星皮肤烧灼伤重度药物不良反应抗肿瘤药治疗

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回族地区失地农民子女教育的调查研究——以银川市为例

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人口研究 2007年第3期31卷 85-90页

作者：苏东海杨文笔宁夏大学政法学院宁夏大学人文学院

随着城市化、工业化进程的加快,失地农民日趋增多,已经成为不可避免的社会发展趋势。在失地农民日趋增多的同时,其子女的教育问题也逐渐成为一个新的社会问题,他们的学习环境如何?学习费用是否增加?受教育权益是否得到保护?伴随着城市... 详细信息

随着城市化、工业化进程的加快,失地农民日趋增多,已经成为不可避免的社会发展趋势。在失地农民日趋增多的同时,其子女的教育问题也逐渐成为一个新的社会问题,他们的学习环境如何?学习费用是否增加?受教育权益是否得到保护?伴随着城市化进程的加快,失地农民子女的教育问题,也必须加以重视和研究。

关键词：回族地区失地农民子女教育

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食管癌累及野照射时淋巴结引流区IID与复发关系的初步研究

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中华放射肿瘤学杂志 2014年第4期23卷 302-306页

作者：沈文斌高红梅祝淑钗李幼梅李曙光曹彦坤苏景伟刘志坤李娟温士旺武彦昭河北医科大学第四医院放疗科石家庄050011 河北医科大学第四医院胸外科石家庄050011 河北医科大学第四医院耳鼻喉科石家庄050011 石家庄市第一医院放射科 050011

目的探讨食管癌三维适形累及野照射（IFI）时相应淋巴结引流区不经意照射剂量（IID）与复发的关系.方法回顾分析2000-2004年间接受根治性放疗的81例食管癌患者资料,分析治疗失败模式、IID大小及IID大小与复发及患者长期生存的关系等.K... 详细信息

目的探讨食管癌三维适形累及野照射（IFI）时相应淋巴结引流区不经意照射剂量（IID）与复发的关系.方法回顾分析2000-2004年间接受根治性放疗的81例食管癌患者资料,分析治疗失败模式、IID大小及IID大小与复发及患者长期生存的关系等.Kaplan-Meier法计算OS、LC率并Logrank法检验,ROC曲线分析VPTV-NX的预测价值,Spearman法相关分析.结果随访率100％.1、3、5、8年OS和LC分别为68％、33％、21％、11％和77％、46％、36％、20％.治疗后单纯局部区域复发21例,单纯远处转移15例,复发伴远处转移3例.ROC曲线分析结果显示VPTV-N40-50能有效预测野外复发（P =0.004 ～0.031）,其预测最佳临界点值分别为71.5％、68.5％和58.5％.VPTV-N40～50大小与患者长期OS无关（P =0.601 ～0.826）,但与照射野外复发显著相关（P =0.005 ～0.010）.VPTV-Nx大小与 ≥2级放射性损伤均无关（r=0.151 ～0.027,P=0.108～0.809）.结论食管癌接受三维适形IFI时其相应淋巴结引流区所得较大的IID可能能起到预防亚临床病灶的作用.

关键词：食管肿瘤三维适形放射疗法累及野照射淋巴结引流区不经意照射剂量复发

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二仙汤加味方治疗更年期综合征临床效果评价

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中国社区医师 2020年第5期36卷 125-125,127页

作者：杨文碧四川省成都高新区石羊社区卫生服务中心

目的:分析采二仙汤加味方治疗更年期综合征的临床效果。方法:2017年3月-2019年3月收治更年期综合征患者98例,随机分为两组,各49例。对照组予以强力脑清素片治疗,观察组予以二仙汤加味方治疗,比较两组治疗效果。结果:观察组治疗后促卵泡... 详细信息

目的:分析采二仙汤加味方治疗更年期综合征的临床效果。方法:2017年3月-2019年3月收治更年期综合征患者98例,随机分为两组,各49例。对照组予以强力脑清素片治疗,观察组予以二仙汤加味方治疗,比较两组治疗效果。结果:观察组治疗后促卵泡生成激素(FSH)以及促黄体生成素(LH)水平均明显低于对照组,雌二醇(E2)水平明显高于对照组,治疗总有效率明显优于对照组,差异均有统计学意义(P<0.05)。结论:二仙汤加味方治疗更年期综合征,可有效改善患者血清性激素水平,还可以提高治疗总有效率。

关键词：更年期综合征二仙汤加味方性激素

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