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THEORETICAL ANALYSIS AND EXPERIMENTAL STUDY OF CARBON NANOTUBE PROBE AND CONVENTIONAL ATOMIC FORCE MICROSCOPY PROBE ON SURFACE ROUGHNESS

引用

Chinese Journal of Mechanical Engineering 2008年第5期21卷 62-64页

作者： wang jinghe wang hongxiang xu zongwei dong shen wang shiqian zhang huali Center for Precision Engineering Harbin Institute of Technology Harbin 150001. China

In this paper, three different tips are employed, i.e., the carbon nanotube tip, monocrystalline silicon tip and silicon nitride tip. Resorting to atomic force microscope （AFM）, they are used for measuring the surface roughness of indium tin oxide （ITO） film and the immunoglobulin G （IgG） proteins within the scanning area of 10 μm×10 μm and 0.5 μm×0.5 μm, respectively. Subsequently, the scanned surface of the ITO film and IgG proteins are analyzed by using fractal dimension. The results show that the ffactal dimension measured by carbon nanotube tip is biggest with the highest frequency components and the most microscopic information. Therefore, the carbon nanotube tip is the ideal measuring tool for measuring super-smooth surface, which will play a more and more important role in the high-resolution imaging field.

关键词： Atomic force microscope Carbon nanotube probes Fractal dimension

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