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High Density Fluorine Negative-Ion Source Generated by Utilizing magnetized SF<sub>6</sub>

Journal of modern Physics 2014年第2期5卷 89-91页

作者： m. Abid Imtiaz tetsu m.eno Department of Physics Faculty of Science Shizuoka University Shizuoka-shi Japan

In a magnetized plasma column generated from an electronegative gas, negative-ions accumulate around the plasma column via radial diffusion. In this study, a dc discharge is applied in SF6 gas to produce a plasma column, and the radial density profile of negative-ions is measured by Langmuir probes using the modified Bohm criterion. The gas pressure and discharge current dependences of negative-ion density are also measured. It is found that the negative-ion density of 8.0 × 1017 m-3 is obtained around the plasma column at r = 1.0 cm when SF6 pressure is 0.13 Pa and discharge current is 0.50 A. The negative-ion density has radial gradient, and the electron density is much lower in this region.

关键词： Fluorine Negative-Ion Ion Source String-Type Plasma Radial Diffusion Langmuir Probe magnetized Plasma Sulfur Hexafluoride

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在光阻材料中过滤器吸附机制的作用(英文)

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电子工业专用设备 2012年第11期41卷 22-27页

作者： tetsu Kohyama ENTEGRIS INC.Billerica MA 01821USA

近来尼龙过滤被广泛用于光刻工艺流程来改善良率,因为许多IC和光阻制造商有实验性证据表明尼龙滤膜能吸附杂质。然而,尼龙滤膜降低缺陷的机制尚不清楚。通过致力于特定的光阻成分来研究不同的缺陷发生机制是十分有用的。利用表面改性和... 详细信息

近来尼龙过滤被广泛用于光刻工艺流程来改善良率,因为许多IC和光阻制造商有实验性证据表明尼龙滤膜能吸附杂质。然而,尼龙滤膜降低缺陷的机制尚不清楚。通过致力于特定的光阻成分来研究不同的缺陷发生机制是十分有用的。利用表面改性和不同的光阻成分进行了各种吸附试验来测量尼龙滤膜的耐受性,包括表面张力,光酸发生剂和光酸抑制剂。最后,研究希望通过致力于如何最佳贯彻尼龙过滤策略来确定最有效的方法提高良率。

关键词：光阻材料过滤器吸附试验尼龙滤膜耐受性

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Fabrication of Sintered Diamond/metal Composites and Evaluation of Grinding Performance for Sapphire

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materials Sciences and Applications 2012年第9期3卷 619-623页

作者： makoto Inoue Kenta Yasuda Tadashi Ito tetsu Sasahara masaru Yokota Atsushi Nakahira Department of material Science and Engineering Osaka Prefecture University Sakai Japan Nakamura Choto Co. Ltd. Sakai Japan

The fabrication of sintered diamond/metal composites bodies composed of diamond filler with the average particle size of 15 μm to 30 μm and metal binder (Ag-Cu-Ti system brazing) was attempted by powder metallurgical sintering process at 700℃ to 1000?C in vacuum atmosphere. As a result, dense bulks of sintered diamond/metal composites were obtained by this powder metallurgical sintering process. The increase of sintering temperatures from 750℃ to 950℃ and of pressure enhanced the density of sintered diamond/metal composites during the hot-pressing in vacuum. All bulks prepared at the temperatures of 750?C to 950℃ were composed of diamond phase and Ag-Cu-Ti system brazing without any other phase for sintered bulks for diamond/metal composites. Furthermore, some properties were evaluated for sintered diamond/metal composites.

关键词： Diamond Composite Brazing Ag microstructure Grinding

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东京铝合金花园餐厅

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现代装饰 2013年第10期 48-53页

作者： moriyuki Ochiai tetsu Hiraga 谢作标 moriyuki Ochiai Architects Twop/us-A

项目地址日本东京项目面积70m2竣工日期2013.01设计单位moriyuki Ochiai Architects/Twoplus-A在HANA（日语意为"花儿"）餐厅/酒吧、活动场所的布局规划过程中,设计师极富挑战性地提出了一种设计理念,极易使人们联想到企业经营理念中的... 详细信息

项目地址日本东京项目面积70m2竣工日期2013.01设计单位moriyuki Ochiai Architects/Twoplus-A在HANA（日语意为"花儿"）餐厅/酒吧、活动场所的布局规划过程中,设计师极富挑战性地提出了一种设计理念,极易使人们联想到企业经营理念中的花开意象。在日本这样一个资源有限的国家,monodzuKuri（源自日本的"物造"精神）是日本手工艺领域

关键词：餐厅铝合金轻有色金属合金花园园林东京日本

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