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Wafer-level SLID bonding for MEMS encapsulation

Advances in Manufacturing 2013年第3期1卷 226-235页

作者： H.Xu t.suni V.Vuorinen J.Li H.Heikkinen P.Monnoyer M.Paulasto-Krckel Department of Electronics School of Electrical EngineeringAalto University Vtt technical Research Centre of Finland

Hermetic packaging is often an essential requirement to enable proper functionality throughout the device＇s lifetime and ensure the optimal performance of a micro electronic mechanical system （MEMS） device. Solid-liquid interdiffusion （SLID） bonding is a novel and attractive way to encapsulate MEMS devices at a wafer level. SLID bonding utilizes a low-melting-point metal to reduce the bonding process temperature; and metallic seal rings take out less of the valuable surface area and have a lower gas permeability compared to polymer or glass- based sealing materials. In addition, ductile metals can adopt mechanical and thermo-mechanical stresses during their service lifetime, which improves their reliability. In this study, the principles of Au-Sn and Cu-Sn SLID bonding are presented, which are meant to be used for wafer-level hermetic sealing of MEMS resonators. Seal rings in 15.24 cm silicon wafers were bonded at a width of 60 gin, electroplated, and used with Au-Sn and Cu-Sn layer structures. the wafer bonding temperature varied between 300 ℃ and 350 ℃, and the bonding force was 3.5 kN under the ambient pressure, that is, it was less than 0.1 Pa. A shear test was used to compare the mechanical properties of the interconnections between both material systems, in addition, important factors pertaining to bond ring design are discussed according to their effects on the failure mechanisms. the results show that the design ofmetal structures can significantly affect the reliability of bond rings.

关键词： (MEMS)bondingDefects Micro electronic mechanical systemSolid-liquid interdiffusion (SLID)transient liquid-phase (tLP) bondingShear test Reliability

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Room-temperature Magnetocaloric Effect in (Co_(0.35)Mn_(0.65))_2P Compound

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Journal of Materials Science & technology 2011年第4期27卷 382-384页

作者： Naikun suni Da Li Songning Xu Zhenhua Wang Zhidong Zhang Shenyang National Laboratory for Materials Science Institute of'Metal Research End International Centre for Materials Physics Chinese Academy of Sciences Shenyang 110016 China School of Science Shenyang Ligong University Shenyang 210168 China

the （Co0.35Mno.65）2P compound, prepared by a mechanical alloying plus solid sintering process, exhibits a second-order transition from a ferromagnetic state to a paramagnetic one at Curie temperature of about 320 K with no clear thermal hysteresis. A magnetic-entropy change （△SM） value above 1.6 ***-1.K-1 for a 5 t field change is obtained in the whole temperature range of 292.5-352.5 K and the maximum value of the △SM is 2.3 ***-1.K-1 at 337.5 K. the study on the magnetocaloric effect of the （Co0.35Mn0.65）2P compound may be helpful for exploring good candidates for room-temperature magnetic refrigeration.

关键词： Magnetocaloric Hysteresis

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日本传统图案设计 4

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2012年

作者： suni视觉设计

全书共两个部分，即日本传统图案的基础知识和实例应用。第一部分主要是了解现今日本传统图案的基础纹样，包括花卉、瓜果、传统纹理、动物、自然元素、底纹的内容，接着，在实例分析的部分，详细解析了日本传统图案元素在和服设计、工... 详细信息

ISBN: (数字)9787030329547

ISBN: (纸本)9787030329547

全书共两个部分，即日本传统图案的基础知识和实例应用。第一部分主要是了解现今日本传统图案的基础纹样，包括花卉、瓜果、传统纹理、动物、自然元素、底纹的内容，接着，在实例分析的部分，详细解析了日本传统图案元素在和服设计、工艺品设计、书籍装帧设计、海报招贴设计、食品包装设计方面的应用，通过简练的文字解析辅助读者进一步掌握图案知识，有利于提高感性和理性认识，同时，也为读者提供了广泛、全面的引导。利于提升读者对传统图案的欣赏水平。

关键词：图集日本图案设计

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中国经典图案设计 1

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2012年

作者： suni视觉设计

全书共两个部分，即中国传统图案的基础和实例应用。第一部分主要是对中国传统图案基础纹样的学习，包括植物、动物、人物、传统文字及几何纹样的内容，接着，在实例解析的部分，详细讲解了传统图案在五个方面的广泛应用，通过简要的针... 详细信息

ISBN: (数字)9787030329561, 9787894455697

ISBN: (纸本)9787030329561

全书共两个部分，即中国传统图案的基础和实例应用。第一部分主要是对中国传统图案基础纹样的学习，包括植物、动物、人物、传统文字及几何纹样的内容，接着，在实例解析的部分，详细讲解了传统图案在五个方面的广泛应用，通过简要的针对性强的文字分析加深对图案的进一步理解，有利于继承中国传统图案文化的知识开拓创新现代的时尚纹样，同时，扩充自己的传统文化知识，利于激发读者对传统艺术的渴望从而陶冶情操，美化现实的客观生活。

关键词：图集图案设计中国

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韩国现代图案设计 1

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2012年

作者： suni视觉设计

全书共两个部分，即韩国现代图案的基础知识和实例应用。第一部分主要是学习现今韩国现代图案的基础纹样，包括浪漫花卉、潮流心型、缤纷人物、圣诞设计元素、几何边框花纹、炫丽动感元素和精美底纹的内容，接着，在实例分析的部分，详... 详细信息

ISBN: (数字)9787030329554

ISBN: (纸本)9787030329554

全书共两个部分，即韩国现代图案的基础知识和实例应用。第一部分主要是学习现今韩国现代图案的基础纹样，包括浪漫花卉、潮流心型、缤纷人物、圣诞设计元素、几何边框花纹、炫丽动感元素和精美底纹的内容，接着，在实例分析的部分，详细解析了韩国现代图案元素在海报、广告、贺卡、墙绘、网页设计方面的应用，通过简练的文字辅助读者进一步掌握图案知识，有利于提高感性和理性认识，同时，扩充艺术思想文化知识，利于激发读者对现代艺术的热情，提高精神生活

关键词：图集韩国现代图案设计

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双下肢气压治疗联合低分子肝素在血栓高危孕妇剖宫产术后预防性应用的临床价值

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系统医学 2023年第23期8卷 158-160,164页

作者：叶素妮云浮市人民医院产科广东云浮527300

目的研究将双下肢气压治疗联合低分子肝素作用在血栓高危孕妇剖宫产术后预防中的效果。方法选取2022年1月—2023年9月云浮市人民医院收治的血栓高危孕妇50例作为研究对象,根据干预方式不同分为对照组和研究组,每组25例。对照组给予低分... 详细信息

目的研究将双下肢气压治疗联合低分子肝素作用在血栓高危孕妇剖宫产术后预防中的效果。方法选取2022年1月—2023年9月云浮市人民医院收治的血栓高危孕妇50例作为研究对象,根据干预方式不同分为对照组和研究组,每组25例。对照组给予低分子肝素钙治疗,研究组联合双下肢气压治疗,比较两组血栓高危孕妇的干预效果,评估促进孕妇剖宫产术后恢复的最佳方法。结果干预前,两组孕妇凝血功能指标比较,差异无统计学意义(P>0.05);干预后,研究组纤维蛋白原(1.04±0.06)g/L明显低于对照组的(2.35±0.12)g/L,差异有统计学意义(t=5.712,P0.05);研究组不良反应发生率为8.0%,低于对照组的28.0%,差异有统计学意义(χ^(2)=13.442,P<0.05)。结论血栓高危孕妇剖宫产术后预防应用双下肢气压治疗联合低分子肝素的方案,可有效地保障孕妇术后恢复健康,安全性较高。

关键词：双下肢气压治疗低分子肝素血栓高危孕妇剖宫产术后预防应用价值

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