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计测技术 2023年第1期43卷 3-17页

作者：吴岳松王子政孙新磊武飞宇霍树春胡春光天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 北京航空航天大学前沿科学技术创新研究院北京100191 中国科学院微电子研究所北京100029

高深宽比孔/槽微结构现广泛应用于微机电系统(MEMS)与三维集成电路(3D-IC)等领域,是微纳器件的基础性工艺结构。随着器件微型化与功能化的发展需求,孔/槽微结构的深宽比不断提升。深度作为重要参数对器件加工工艺、器件性能有直接影响,... 详细信息

高深宽比孔/槽微结构现广泛应用于微机电系统(MEMS)与三维集成电路(3D-IC)等领域,是微纳器件的基础性工艺结构。随着器件微型化与功能化的发展需求,孔/槽微结构的深宽比不断提升。深度作为重要参数对器件加工工艺、器件性能有直接影响,微孔/槽结构深度的精确测量具有重要意义,但测量方法面临巨大挑战,成为测量领域的难题之一。针对这一问题,按照非光学和光学测量方式将测量方法分为两大类,介绍了扫描电子显微镜、扫描探针术、白光显微干涉技术、共焦显微技术和反射光谱技术等测量方法的工作原理,在微孔/槽深度测量方面的研究现状,尝试从中总结每种测量方法的优缺点,最后,讨论了未来高深宽比微结构深度测量发展趋势以及研究重点,为之后高深宽比微结构深度的测量技术研究提供帮助。

关键词：光学测量高深宽比微结构深度测量反射光谱白光干涉共焦显微

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大尺寸测量设备高空精测平台的研制

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计测技术 2018年第5期38卷 39-42页

作者：孙安斌高廷乔磊马骊群王继虎甘晓川曹铁泽航空工业北京长城计量测试技术研究所北京100095

结合大型精密系统部装及总装精测时对大尺寸测量设备布局优化及稳定性的要求,论述了大尺寸测量设备高空精测平台结构组成、实现设备高空精测时的稳定支撑方式、稳定升降的结构原理。试验数据表明,该平台高空作业时沉降率不大于0. 02 mm... 详细信息

结合大型精密系统部装及总装精测时对大尺寸测量设备布局优化及稳定性的要求,论述了大尺寸测量设备高空精测平台结构组成、实现设备高空精测时的稳定支撑方式、稳定升降的结构原理。试验数据表明,该平台高空作业时沉降率不大于0. 02 mm/h,加载经纬仪稳定性达到0. 6″/h,满足精测需求。

关键词：大尺寸测量设备布局优化精测平台自动升降精密测量

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X、γ射线个人剂量当量次级标准电离室系统质量特性设计与测试

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石化技术 2023年第8期30卷 80-82,79页

作者：李莉倪宁赵旭高飞陈义珍寇宁宁宋明哲孙涛滕忠斌杭仲斌中国原子能科学研究院中核核工业计量与测试技术重点实验室北京102413

X、γ射线个人剂量当量次级标准电离室系统主要用于复现个人剂量当量、完成个人剂量当量量值传递,是保障辐射防护领域个人剂量当量量值准确和人员安全的重要设备。重点研究自研X、γ射线个人剂量当量次级标准电离室系统的可靠性、环境... 详细信息

X、γ射线个人剂量当量次级标准电离室系统主要用于复现个人剂量当量、完成个人剂量当量量值传递,是保障辐射防护领域个人剂量当量量值准确和人员安全的重要设备。重点研究自研X、γ射线个人剂量当量次级标准电离室系统的可靠性、环境适应性的设计并开展试验测试;试验结果表明,X、γ射线个人剂量当量次级标准电离室系统可靠性满足MTBF≥1000h的要求,系统贮存温度范围-10~50℃,工作温度范围10~40℃,相对湿度为40%~75%。该产品的各项通用质量特性符合计量级产品工作环境条件要求,可作为次级标准用于X、γ射线个人剂量当量的量值复现与量值传递。

关键词：电离室通用质量特性个人剂量当量

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新疆塔城市大棚出口蔬菜重金属的分布特点及污染评价

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食品安全导刊 2022年第6期 63-65页

作者：古丽米娜·热恒别克吴艳梁才沙吾列·木合买提克力木孙淑艳李佳乐塔城地区质量与计量检测所新疆塔城834700

为掌握塔城市大棚蔬菜重金属分布情况,确保人们的餐饮安全,本文选择塔城市大棚蔬菜基地7种常见出口蔬菜进行5种重金属监测分析,对15家大棚蔬菜基地常见出口蔬菜的Hg、As、Cr、Pb和Cd 5种重金属进行检测。结果显示,所采蔬菜中Cr的含量最... 详细信息

为掌握塔城市大棚蔬菜重金属分布情况,确保人们的餐饮安全,本文选择塔城市大棚蔬菜基地7种常见出口蔬菜进行5种重金属监测分析,对15家大棚蔬菜基地常见出口蔬菜的Hg、As、Cr、Pb和Cd 5种重金属进行检测。结果显示,所采蔬菜中Cr的含量最高,但5种重金属含量均符合《食品安全国家标准食品中污染物限量》(GB 2762—2017)要求。因此,目前塔城市大棚出口蔬菜未受到重金属污染,符合国家相关要求,无健康风险。

关键词：大棚出口蔬菜重金属污染检测

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大量程高性能光栅位移测量技术

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计测技术 2023年第1期43卷 81-90页

作者：刘林刘兆武于宏柱王玮姜岩秀姜珊孙宇佳金思宇梁旭巴音贺希格李文昊中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033

高精度光栅位移测量系统具有纳米级重复精度、环境适应性强、维度易于扩展等优点,可以满足精密制造行业对米级测量量程、亚微米级精度与多维测量能力融合的测量技术要求,在高端制造、精密仪器等领域有重要应用。通过对测量光栅的各项参... 详细信息

高精度光栅位移测量系统具有纳米级重复精度、环境适应性强、维度易于扩展等优点,可以满足精密制造行业对米级测量量程、亚微米级精度与多维测量能力融合的测量技术要求,在高端制造、精密仪器等领域有重要应用。通过对测量光栅的各项参数进行研究,提升了测量光栅的尺寸与制作精度;提出高精度锥面衍射光栅位移测量、高倍细分转向干涉光栅位移测量、“品”字形拼接大量程光栅位移测量等技术,实现了数百毫米测量量程亚微米级测量精度。从光栅制作到测量系统研制对提升精度、分辨力及量程提供了理论分析与技术验证。

关键词：光栅位移测量锥面衍射转向干涉大量程拼接

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