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Near-field holography enhanced with antireflection coatings--an improved method for fabricating diffraction gratings

引用

Chinese Optics Letters 2016年第9期14卷 1-5页

作者：李媛芳陈火耀 stefanie kroker Thomas K?sebier 刘正坤邱克强刘颖 Ernst-Bernhard Kley 徐向东洪义麟付绍军 National Synchrotron Radiation Laboratory University of Science and Technology of China Institut für Angewandte Physik Friedrich-Schiller-Universit?t Jena Technische Universit?t Braunschweig Laboratory for Emerging Nanometrology Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Near-field holography（NFH）, with its virtues of precise critical dimensions and high throughput, has a great potential for the realization of soft x-ray diffraction gratings. We show that NFH with reflections reduced by the integration of antireflective coatings（ARCs） simplifies the NFH process relative to that of setups using refractive index liquids. Based on the proposed NFH with ARCs, gold-coated laminar gratings were fabricated using NFH and subsequent ion beam etching. The efficiency angular spectrum shows that the stray light of the gratings is reduced one level of magnitude by the suppression of interface reflections during NFH.

关键词： Antireflection coatings Coatings Gold coatings Holography Ion beams Refractive index Spectrum analysis Stray light X ray diffraction

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