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Characterization of a-Si:H/SiN multilayer waveguide polarization using an optical pumping application—LED

Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering) 2009年第10期10卷 1421-1427页

作者： Mohd Saiful Dzulkefly ZAN Isamu KATO Mohammad Syuhaimi AB-RAHMAN seri mastura mustaza Department of Electrical Electronic and System EngineeringFaculty of Engineering and Built EnvironmentUniversiti Kebangsaan Malaysia Department of Electrical Engineering and Bioscience Waseda University

This paper describes the fabrication of a waveguide and the analysis of its polarization characteristics by applying light-emitting diode(LED) pumping lights to its *** using double tubed coaxial line(DTCL) microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD) equipment,an a-Si:H/SiN multilayer waveguide was fabricated whose thickness could be controlled at nanometer *** main structural material of the waveguide sample consisted of a combination of layers of amorphous silicon hydrogen and silicon *** the sample was ready,another major objective of the experiment was to analyze the polarization characteristics of the fabricated *** idea of the experiment was to analyze how the waveguide reacts when three types of LED(blue,yellow,and red) are radiated onto its *** results showed that the fabrication of the a-Si:H/SiN sample is *** effective transmission results,which accord with the polarization characteristics analysis,were obtained.

关键词： Waveguide Multilayer Optical pumping Light-emitting diode (LED) Double tubed coaxial line microwave plasma chemical vapor deposition (DTCL-MPCVD)

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