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In-situ analysis of laser-induced breakdown spectra for online monitoring of femtosecond laser machining of sapphire

引用

Science China(Technological Sciences) 2024年第1期67卷 73-82页

作者： shangguan shiyong ZHANG JianGuo LI ZhanZhu SHI Wei WANG WenKe QI DongFeng ZHENG HongYu Center for Advanced Laser Manufacturing(CALM) Shandong University of TechnologyZibo 255000China

Laser-induced breakdown spectroscopy(LIBS)is widely used for elemental ***,its application for monitoring and analyzing a laser machining process by examining the changes in spectral information warrants further *** this study,we investigate the effect of laser parameters on the spectra,variations in the time-resolved plasma emission spectra,and the relationship between the morphology of craters and plasma plume evolution during the femtosecond(fs)laser ablation of *** Boltzmann plot method and Stark’s broadening model are employed to estimate the temporal temperature and electron density of the plasma plume,revealing the process of plasma *** study aims to demonstrate the feasibility of LIBS for online monitoring of laser processing through experimental data and theoretical explanations.

关键词： laser-induced breakdown spectroscopy plasma plume online monitoring sapphire

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