检索结果-南通市图书馆

检索条件"作者=Praveen Pandojirao-Sunkojirao"

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An Optical Scanner Based on Cantilever-type Electrostatic Zipping Actuators

An Optical Scanner Based on Cantilever-type Electrostatic Zi...

引用

2007亚洲光电子会议微电子机械系统/微型光机电系统技...

作者： Smitha M.N.Rao praveen pandojirao-sunkojirao Naresh Dhaubanjar Mu Chiao J.-C.Chiao Department of Electrical Engineering The University of Texas at ArlingtonUSA Department of Mechanical Engineering The University of British ColumbiaCanada

This paper discusses modeling, design, fabrication and characterization of an optical scanner based on cantilever-type electrostatic zipping actuators. The electrostatic actuator has been designed to achieve high displacements for large optical scanning angles at lower actuation voltages. The zipping actuators are fabricated using multi-layer polysilicon foundry fabrication processes. The electrostatic force between the cantilever and the bottom electrode on the substrate pulls the cantilever down. With a warped cantilever, the force closes the gap from the anchored end and gradually the zipping effect actuates the entire cantilever. In our design, mechanical structures are arranged to avoid electrical short-circuit. With various annealing temperatures, the warped angles are controllable. The cantilever serves as a reflective surface and the high out-of-plane displacement is used to steer a reflected laser beam for imaging and scanning applications. In this paper we present the design considerations in electrostatic zipping actuator displacement and control as well as the arrangement for optical scanning.

关键词： optical scanner cantilever-type zipping actuator electrostatic actuator

来源： cnki会议评论

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