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Preparation and Anti-Oxidation Properties of Ti(CN) Films Deposited by P CVD

材料热处理学报 2004年第05B期25卷 851-853页

作者： panying-jun chenshu-hua wuxin-jie liping-sheng zhangxi-ju DepartmentofMaterialandMetallurgy WuhanUniversityofScienceandTechnologyWuhanChina

Using metallo-organatic compound TPT as the source of Ti, H13 mould steels were coated with Ti(CN) films by plasma-assisted chemical vapor deposition (PCVD) and the properties of Ti(CN) films were studied. Under the appropriate temperature and pressure, Ti(CN) films on H13 mould steel surfaces had the highest micro-hardness of HV1760 at 500°C, and the films showed excellent anti-oxidation property below 500°C. The lifetime of Ti(CN)-coated augers and dies could be enhanced 7 and 4 times longer than those of untreated respectively.

关键词： PCVD 钛薄膜反氧化显微硬度

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