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Fabrication of piezoelectric AlN thin film for FBARs

第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者： Yeong-Chin Chen Wei-Kuo Liu menq-jion wu Department of Electronics Engineering and Computer Science Tung-Fang Institute of TechnologyTaiwanR.O.C. Department of Mechatronics National Changhua University of EducationTaiwanR.O.C.

Ultrasound imaging has become an effective and practical tool for obtaining information from within the human body as well as because it provides a clear real-time display of body tissue without exposing the patient to *** obtain a good quality of ultrasound imaging,ultrasonic piezoelectric transducers with high sensitivity,good impulse response,high-efficiency,low-ripple,and wide-band performance is desired. The approach we have used consists of impedance matching the front face of the piezoelectric transducer to the propagating medium with a quarter wavelength impedance matching layer and inserting an un-matching quarter wavelength acoustical layer between the rear face and backing *** the backing at the rear surface,a soft backing demonstrating a better impedance matching result which can improve the bandwidth,but exhibiting a longer duration impulse response should be used.A un-matched heavy backing would degrade the wide-band phenomena,but show a shorter time duration(<0.5μS) for image application. The PSPICE(Personal Simulation Program with Integrated Circuit Emphasis) code of the Mason model is developed to precisely predict the performance of the matched transducers and helps to achieve a compromise between the wide-bandwidth and short time duration characteristics of a two-matching-layer unmatched *** optimum impedance of the matching plate can be estimated to obtain the specific bandwidth and maximum response for special applications such as transmitting or imaging *** agreement between the simulation results and experimental results has been achieved.

关键词： Ultrasonic diagnostic Quarter wavelength Acoustical matching layer Piezoelectric transducer Wide-band Time duration Mason model PSPICE

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Science China(Physics,Mechanics & Astronomy) 2009年第2期52卷 226-232页

作者： TAY Kok-Wan KUO Sin-Cha wu menq-jion Department of Electrical Engineering Wu Feng Institute of Technology Department of Electronics Engineering Far East University Tainan 744 Department of Mechatronics Engineering National Changhua University of Education Changhua 500

This paper focuses on the fabrication of film bulk acoustic-wave resonator (FBAR) comprising an aluminum nitride (AlN) piezoelectric thin film sandwiched between two metal electrodes and located on a silicon substrate with a low-stress silicon nitride (Si3N4) support membrane for high frequency wireless applications, and analyzes the optimization of the thin AlN film deposition parameters on Mo electrodes using the reactive RF magnetron sputter system. Several critical parameters of the sputtering process such as RF power and Ar/N2 flow rate ratio were studied to clarify their effects on different electrodes characteristics of the AlN films. The experiment indicated that the process for Mo electrode was easier compared with that of the Pt/Ti or Au/Cr bi-layer electrode as it entailed only one photo resist and metal deposition step. Besides, Pt/Ti or Au/Cr electrodes reduced the resonance frequency due to their high mass density and low bulk acoustic velocity. Compared with the case of the Al bottom electrode, there is no evident amorphous layer between the Mo bottom electrode and the deposited AlN film. The characteristics of the FBAR devices depend not only upon the thickness and quality of the AlN film, but also upon the thickness of the top electrode and the materials used. The results indicate that decreasing the thickness of either the AlN film or the top electrode increases the resonance frequency. This suggests the potential of tuning the performance of the FBAR device by carefully controlling AlN film thickness. Besides, increasing either the thickness of the AlN film or higher RF power has improved a stronger c-axis orientation and tended to promote a narrower rocking curve full-width at half-maximum (FWHM), but increased both the grain size and the surface roughness. An FBAR device fabricated under optimal AlN deposition parameters has demonstrated the effective electromechanical coupling coefficient (k eff 2 ) and the quality factor (Q f x ) are about 1.5

关键词： sputtering thin film piezoelectric

PSPICE CONTROLLED-SOURCE MODELS OF ANALOGOUS CIRCUIT FOR LANGEVIN TYPE PIEZOELECTRIC TRANSDUCER

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PSPICE CONTROLLED-SOURCE MODELS OF ANALOGOUS CIRCUIT FOR LAN...

顾客导向和创新导向对企业绩效的影响机制研究

中国力学学会学术大会'2005

作者： Chen Yeong-Chin wu menq-jion Liu Wei-Kuo (Department of Electronics Engineering and Computer Science, ung-Fang Institute of Technolog , Taiwan, China) (Department of Mechatronics, National Changhua University of Education, Taiwan,China)

The design and construction of wide-band and high efficiency acoustical projector has long been considered an art beyond the capabilities of many smaller groups. Langevin type piezoelectric transducers have been the most candidate of sonar array system applied in underwater communication. The transducers are fabricated, by bolting head mass and tail mass on both ends of stacked piezoelectric ceramic, to satisfy multiple, conflicting design for high power transmitting capabilit .The aim of this paper is to study the characteristics of Langevin type piezoelectric transducer that depend on

关键词： Acoustical projector Langevin type piezoelectric transduce stacked piezoelectric ceramic Mason model controlled-source PSPICE

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南开管理评论 2009年第3期12卷 67-73,93页

作者：郭贤达孙瑾吴坚陈荣北京大学光华管理学院市场营销系对外经济贸易大学国际商学院中国人寿清华大学经济管理学院市场营销系

在市场导向相关研究的基础上,本文探索了顾客导向(Customer Orientation)以及创新导向(Innovation Orientation)经由组织学习(Organizational Learning)对公司绩效(Firm Performance)的影响。通过对欧洲的390家制造企业的调查,发现顾客导向和创新导向都对组织学习产生正向影响,组织学习提高了公司的新产品绩效(New Product Performance),最终提升了公司绩效。最后,文章讨论了本研究的理论和实践意义,以及未来的研究方向。

关键词：顾客导向创新导向组织学习新产品绩效公司绩效

前后路一期半椎体切除术治疗先天性脊柱侧后凸的中期随访

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中华骨科杂志 2009年第5期29卷 436-440页

作者：孙武仉建国邱贵兴于斌刘勇王以朋翁习生中国医学科学院中国防和医科大学北京协和医院骨科 100730

目的评价前后路一期半椎体切除术治疗完全分节半椎体畸形所致先天性脊柱侧后凸畸形的2-6年随访结果。方法2000年8月至2006年10月，收治完全分节半椎体畸形所致先天性脊柱侧后凸患者20例，男女各10例；年龄5-16岁，平均11．7岁。半椎体... 详细信息

目的评价前后路一期半椎体切除术治疗完全分节半椎体畸形所致先天性脊柱侧后凸畸形的2-6年随访结果。方法2000年8月至2006年10月，收治完全分节半椎体畸形所致先天性脊柱侧后凸患者20例，男女各10例；年龄5-16岁，平均11．7岁。半椎体分布：T5 1例，T6 3例，T7 1例，T8 4例，T10 3例，T11 2例，T12 2例，L1 1例，L2 1例，L3 2例。均行前后路一期半椎体切除及后路矫形固定融合术。内固定器械包括：CDH4例，TSRH9例，儿童TSRH2例，Isola2例，儿童Isola2例，MossMiami1例。所有病例术前、术后和随访时均拍摄站立位全脊柱正、侧位X线片，测量冠状面和矢状面Cobb角及顶椎偏移。复习病历以记录围手术期并发症和远期并发症。结果全部病例随访24-72个月，平均40．5个月。手术时间140-520min，平均315min。术中出血量180-1600ml，平均798ml。固定融合节段为2-9节，平均4．7节。冠状面Cobb角由术前平均61．7°矫正至18．3°，矫正率为70．3％；后凸由术前平均48．2°矫正至16．6°；顶椎偏移由术前3．7cm矫正至1．9cm。并发症包括：术中加压时椎弓根切割1例，代偿弯加重1例，曲轴失衡2例。结论前后路一期半椎体切除术在冠状面和矢状面均可获得良好的矫形，中期随访疗效可靠；但对于骨龄小的患者，若阻滞范围不够，仍可发生曲轴失衡。

关键词：脊柱侧凸脊柱后凸脊柱融合术内固定器

引流在下颌阻生第三磨牙拔除后应用效果的系统评价

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华西口腔医学杂志 2012年第6期30卷 615-619页

作者：李双君李春洁武媛潘剑赵洪伟李龙江四川大学华西口腔医学院口腔颌面外科学教研室口腔疾病研究国家重点实验室四川大学成都610041

目的评价各种引流方法控制下颌阻生第三磨牙拔除术后并发症的有效性与安全性。方法明确评价各种引流方法控制下颌阻生第三磨牙拔除术后并发症的有效性与安全性的研究问题后,电子检索MEDLINE、Cochrane图书馆临床随机对照试验库、荷兰医... 详细信息

目的评价各种引流方法控制下颌阻生第三磨牙拔除术后并发症的有效性与安全性。方法明确评价各种引流方法控制下颌阻生第三磨牙拔除术后并发症的有效性与安全性的研究问题后,电子检索MEDLINE、Cochrane图书馆临床随机对照试验库、荷兰医学文摘、欧洲灰色文献数据库和中国生物医学文献数据库,检索时间截至2011年8月23日,同时对中文口腔医学杂志进行手工检索,对纳入文献的参考文献进行追索。使用Cochrane协作网推荐的标准对纳入文献进行偏倚风险评价并提取数据。采用Revman 5.1软件进行统计分析。结果最终纳入研究的文献为9篇,其中7篇为随机对照试验,2篇为半随机对照试验。偏倚风险评价显示,7篇为中度风险,2篇为高度风险。Meta分析结果显示,引流能够增加患者术后最大张口度4.44 mm(P=0.003),明显改善患者术后面部肿胀(P<0.05),减少术后干槽症的发生率(P=0.008)。但是引流并不能够显著降低患者术后疼痛(P=0.09)。结论引流对缓解下颌阻生第三磨牙拔除术后并发症有一定的疗效和安全性,但还需要更多的临床随机对照试验的支持。

关键词：阻生牙拔牙引流 Meta分析系统评价

C4烃类在H-ZSM-5分子筛催化剂上的芳构化

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华东化工学院学报 1981年第4期 1-12页

作者：吴指南伍肇炯葛旭丹陈云宝杨金根何伟良

本文为综合利用C4烃类以扩大芳烃来源探索了新的途径。研究了H-ZSM-5分子筛催化剂的制备条件对C4烃类芳构化催化效率的影响,以及反应条件对反应产物分布的效应。对C4烃类在H-ZSM-5分子筛催化剂上的芳构化反应过程进行了初步探讨,并对催... 详细信息

本文为综合利用C4烃类以扩大芳烃来源探索了新的途径。研究了H-ZSM-5分子筛催化剂的制备条件对C4烃类芳构化催化效率的影响,以及反应条件对反应产物分布的效应。对C4烃类在H-ZSM-5分子筛催化剂上的芳构化反应过程进行了初步探讨,并对催化剂的稳定性和再生性能作了初步考察。试验结果表明:分离掉丁二烯后的混合C4烃类可用作制备芳烃的原料;在常压和反应温度为500～550℃,重量空速为1～1.7（小时）-1条件下,液态烃收率为47～52%（重）。其中总芳烃含量达97～98%,C6～C8芳烃占91～93%。尾气主要由CH4、C2H4、C2H6和C3H8所组成。已失活的催化剂经通空气再生后,活性能完全恢复。

关键词：分子筛催化剂沸石催化剂 H-ZSM-5 C4 芳构化催化重整烃类

乳腺癌前哨淋巴结微转移术中快速检测的临床意义

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实用医学杂志 2008年第9期24卷 1513-1515页

作者：王亚兵洪书剑武健吴佩徐国强张帆皖南医学院附属弋矶山医院普外科安徽省芜湖市皖南医学院附属弋矶山医院病理科安徽省芜湖市

目的:了解术中冰冻切片联合快速免疫组化在乳腺癌前哨淋巴结(SLN)微转移检测中的应用及效果。方法:2003年2月至2006年4月我科共62例乳腺癌患者,采取美蓝染色前哨淋巴结活检(SLNB),行SLN术中冰冻切片,阴性者行EPOS法快速免疫组化检查以... 详细信息

目的:了解术中冰冻切片联合快速免疫组化在乳腺癌前哨淋巴结(SLN)微转移检测中的应用及效果。方法:2003年2月至2006年4月我科共62例乳腺癌患者,采取美蓝染色前哨淋巴结活检(SLNB),行SLN术中冰冻切片,阴性者行EPOS法快速免疫组化检查以发现微转移,并与术后SLN连续切片及免疫组化检查作比较,以了解快速免疫组化检查的准确性及发现微转移的能力。结果:56例成功行SLNB,成功率90.3%,术中冰冻切片发现20例SLN癌转移,36例阴性者行快速免疫组化检查,发现2例微转移,术后连续切片及常规免疫组化检查又发现2例微转移。结论:美蓝染色SLNB成功率较高、安全、价廉,术中SLN冰冻切片联合EPOS法快速免疫组化检查,可增加SLN微转移的检出率,减少假阴性率,适合基层医院开展。

关键词：乳腺肿瘤前哨淋巴结活组织检查免疫组织化学微转移

评价糖尿病患者住院期间降糖疗效的有效指标--糖化血清白蛋白

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上海医学 2009年第12期32卷 1083-1085页

作者：李青吴松华屠印芳唐峻岭潘洁敏李鸣周健贾伟平项坤三上海交通大学附属第六人民医院内分泌代谢科上海市糖尿病临床医学中心200233

目的检测2型糖尿病住院患者的糖化血清白蛋白(GA),评价GA作为一个反映短期平均血糖水平变化及住院期间血糖控制临床监测指标的可靠性。方法收集上海交通大学附属第六人民医院内分泌代谢科2006年5月—2007年11月住院的445例2型糖尿病患者... 详细信息

目的检测2型糖尿病住院患者的糖化血清白蛋白(GA),评价GA作为一个反映短期平均血糖水平变化及住院期间血糖控制临床监测指标的可靠性。方法收集上海交通大学附属第六人民医院内分泌代谢科2006年5月—2007年11月住院的445例2型糖尿病患者,测定空腹血糖(FPG)、餐后2 h血糖(2hPG)、1日指尖血糖谱均值(MBG)、GA、糖化血红蛋白(HbA_1c)等,并对其中101例住院近2周的患者在住院后第12天复查GA、HbA_1c、FPG、2hPG、MBG等指标,其中GA以液态酶法(GA-L)测定。结果①445例2型糖尿病患者中,GA与HbA_1c(r=0.818)、FPG(r=0.573)、2hPG(r=0.409)、MBG(r=0.313)均呈正相关(P值均<0.01)。②101例住院近2周的2型糖尿病患者入院后第12天的GA为(23.24±4.51)%,显著低于入院第1天的(30.10±6.75)%(P<0.01)。③101例住院近2周的2型糖尿病患者入院后第12天的GA较入院第1天下降6.86%(P<0.01),平均降幅为21.19%;HbA_1c下降0.74%(P<0.01),平均降幅为6.38%。GA的降幅显著大于HbA_1c(P<0.01)。结论GA可准确、及时地反映短期内平均血糖水平的变化,比HbA_1c更适合作为评价2型糖尿病患者住院期间(12 d)降糖疗效的临床监测指标。

关键词：糖尿病糖化血清白蛋白糖化血红蛋白