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Mechanical and electronic approaches to improve the sensitivity of microcantilever sensors

Acta Mechanica Sinica 2009年第1期25卷 1-12页

作者： madhu santosh ku mutyala Deepika Bandhanadham Vijaya Rohini Pendyala Institute for Micromanufacturing Louisiana Tech University

Advances in the field of micro electro mechanical systems and their uses now offer unique opportunities in the design of ultrasensitive analytical tools. The analytical community continues to search for cost-effective, reliable, and even portable analytical techniques that can give reliable and fast response results for a variety of chemicals and biomolecules. Microcantilevers （MCLs） have emerged as a unique platform for label-free chem-sensor or bioassay. Several electronic designs, including piezoresistive, piezoelectric, and capacitive approaches, have been applied to measure the bending or frequency change of the MCLs upon exposure to chemicals. This review summarizes mechanical, fabrication, and electronics approaches to increase the sensitivity of MCL sensors.

关键词： Microcantilever Sensor MEMS Sensitivity

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A novel inductive technique for microcantilever displacement detection

引用

Theoretical & Applied Mechanics Letters 2011年第3期1卷 30-35页

作者： madhu santosh K mutyala Kody Varahramyan Institute for Micromanufacturing Louisiana Tech University Indiana University-Purdue University Indianapolis

A novel inductive technique for the detection of microcantilever displacement for sensing applications was *** highlight the basic structure and evaluate its characteristics with the aid of modeling and *** generated by numerical simulations using ANSOFT are compared with those obtained from an equivalent circuit model using *** are indications that the sensitivity of the inductive cantilever is about one order of magnitude higher as compared to piezoresistive silicon cantilevers of the same dimension under the same cantilever bending.

关键词： inductance magnetic field coupling coefficient

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