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  • 1 篇 方形照明
  • 1 篇 光学光刻分辨率
  • 1 篇 焦深

机构

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作者

  • 1 篇 b.w.smith
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  • 1 篇 l.zavyalova
  • 1 篇 s.g.smith

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  • 1 篇 中文
检索条件"作者=L.Zavyalova"
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采用方形照明提高分辨率和焦深
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电子工业专用设备 2000年 第2期29卷 48-56页
作者： B.W.Smith l.zavyalova S.G.Smith J.S.Petersen 葛劢冲? RochesterInstituteofTechnology InternationalSEMATECH
:随着光学光刻技术向更小特征尺寸加工推进 ,必然要重视提高分辨率的方法。通过强、弱离轴方法的照明变形技术正引起极大的关注。特别是研究x、y定向的特征尺寸 ,照明分布形状可不一定是圆形的。介绍了采用直角特性的照明形状可提高成... 详细信息
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