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作者

  • 1 篇 tatsumi hiramoto
  • 1 篇 孙建诚
  • 1 篇 koichi kamisako
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  • 1 篇 shinji suzuki
  • 1 篇 yasuo tarui

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  • 1 篇 中文
检索条件"作者=Koichi Kamisako"
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使用带灯反应器的光CVDa—Si薄膜
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微电子学与计算机 1988年 第2期 26-28页
作者： Yasuo Tarui Katsumi Aota koichi kamisako Shinji Suzuki Tatsumi Hiramoto 孙建诚
本文论述了使用一种灯与反应室为统一体的新型光CVD法.这种没有灯管和反应室窗口的光CVD系统有利于短波长光的辐射.在没有汞敏化剂的情况下,采用一体反应器,从硅烷气体淀积a-Si薄膜.测量了一体反应器的发射光谱.它与RF等离子比较,有Si... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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