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Silicon optical MEMS:optical components and sensors

光学精密工程 2002年第6期10卷 632-633页

作者： kazuhiro hane Dept.Mechatronics and Precision Engineering Tohoku University

Using Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) technology, many devices and systems can be miniaturized. Micro pressure sensors and micro accelerometers (air-bag sensor) are examples that are widely commercialized. In the case of optical system, some optical components need to be combined to implement the function desired for optical processing. A micro-optical bench based on a Si surface and bulk micromachining has been proposed in order to integrate optical components on a Si substrate.

关键词：光学元件传感器硅光微电机械系统

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Single and multiple optical switches that use freestanding silicon nanowire waveguide couplers

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Light(Science & Applications) 2012年第1期1卷 92-99页

作者： Yuta Akihama kazuhiro hane Department of Nanomechanics Tohoku UniversitySendai 980-0952Japan

Silicon photonic devices consisting of nanowire waveguides are a promising technology for on-chip integration in future optical telecommunication and interconnection systems based on silicon-large scale integration fabrication.However,the accommodation of variable optical components on a chip remains challenging due to the small size of microchips.In this study,we investigated the characteristics of a microelectromechanical silicon nanowire waveguide switch with a gap-variable coupler.Due to its capacitive operation,the proposed waveguide switch consumed negligible power relative to switches that use a thermo-optical effect and carrier injection.The proposed switch was characterized using analyses based on coupled-mode theory for rectangular waveguides,as well as a simulation using the finite difference time domain method.A 2×2 single switch with an improved configuration and a 2×6 multiple switch composed of the 2×2 switches was designed and fabricated by a combination of electron beam lithography,fast-atom beam etching and hydrofluoric acid vapor sacrificial etching.The properties of the switches were measured and evaluated at a wavelength of 1.55 μm.

关键词： microelectromechanical systems optical switch silicon photonics

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