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Experimental demonstration of high-Q MRR based on a germanium-on-insulator platform with an yttria insulator in the mid-IR range

引用

Photonics Research 2023年第11期11卷 I0017-I0024页

作者： JINHA LIM joonsup shim INKI KIM SANGHYEON KIM School of Electrical Engineering Korea Advanced Institute of Science and Technology(KAIST)Daejeon 34141Republic of Korea

We experimentally demonstrate an all-pass microring resonator (MRR) based on a Y_(2)O_(3)BOX germanium-oninsulator (GeOI) platform operating in the mid-IR *** ring resonator was numerically designed to have a high quality (Q) factor in the 4.18μm to 4.22μm wavelength range in the fundamental TE *** to our design,the GeOI ring resonator was fabricated by the direct wafer-bonding technology with an yttria(Y_(2)O_(3)) buried oxide layer,which is transparent at the mid-IR region,for the bonding interface and the electron beam *** experimental resonant characteristic was obtained using our fiber-based mid-IR measurement *** GeOI single MRR exhibited an extinction ratio (ER) of 15.28 dB and an insertion loss (IL)of 1.204 dB,and the racetrack showed an ER of 22.77 dB and an IL of 0.627 ***,the free spectral range of the device was 5.29 nm,and the loaded Q factor of 94,528 (176,158 of intrinsic Q factor) was extracted by the nonlinear least squares *** believe this demonstration of our GeOI MRR offers a valuable opportunity to implement multipurpose devices such as optical sensors,switches,and filters in the mid-IR range.

关键词： resonator insulator MRR

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