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Sensitive capacitive pressure sensors based on graphene membrane arrays
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Microsystems & Nanoengineering 2020年 第1期6卷 176-184页
作者： Makars Siskins Martin Lee Dominique Wehenkel Richard van Rijn Tijmen W.de jong johannes R.Renshof Berend C.Hopman Willemijn S.j.M.Peters Dejan Davidovikj Herre S.j.van der Zant Peter G.Steeneken kavli Institute of Nanoscience Delft University of TechnologyLorentzweg 12628 CJ DelftThe Netherlands Applied Nanolayers B.V. Feldmannweg 172628 CT DelftThe Netherlands Department of Precision and Microsystems Engineering Delft University of TechnologyMekelweg 22628 CD DelftThe Netherlands
The high flexibility,impermeability and strength of graphene membranes are key properties that can enable the next generation of nanomechanical ***,for capacitive pressure sensors,the sensitivity offered by a single s... 详细信息
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