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Hydrodynamic function and spring constant calibration of fluidFM micropipette cantilevers

Microsystems & Nanoengineering 2024年第1期10卷 277-286页

作者： Attila Bonyár Ágoston G.Nagy hans gunstheimer.gotthold fläschner.robert hor.ath Department of Electronics Technology Faculty of Electrical Engineering and InformaticsBudapest University of Technology and EconomicsBudapestHungary Nanobiosensorics Laboratory Institute of Technical Physics and Materials ScienceCentre for Energy ResearchHUN-RENBudapestHungary Nanosurf AG Gräubernstrasse 12CH-4410 LiestalSwitzerland

fluidic force microscopy(fluidFM)fuses the force sensitivity of atomic force microscopy with the manipulation capabilities of microfluidics by using microfabricated cantilevers with embedded fluidic *** innovation initiated new research and development directions in biology,biophysics,and material *** acquire reliable and reproducible data,the calibration of the force sensor is ***,the hollow fluidFM cantilevers contain a row of parallel pillars inside a rectangular *** precise spring constant calibration of the internally structured cantilever is far from trivial,and existing methods generally assume simplifications that are not applicable to these special types of *** addition,the Sader method,which is currently implemented by the fluidFM community,relies on the precise measurement of the quality factor,which renders the calibration of the spring constant sensitive to *** this study,the hydrodynamic function of these special types of hollow cantilevers was experimentally determined with different *** on the hydrodynamic function,a novel spring constant calibration method was adapted,which relied only on the two resonance frequencies of the cantilever,measured in air and in a *** on these results,our proposed method can be successfully used for the reliable,noise-free calibration of hollow fluidFM cantilevers.

关键词： spring cantilever function

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