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检索条件"作者=HUANGRui LINXuan-Ying YUYun-Peng LINKui-Xun WEIJun-Hong yuchu-Ying WANGZhao-Kui"
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排序:
Fast Growth of Polycrystalline Film in SiCl4/H2 Plasma
收藏 引用
Chinese Physics Letters 2004年 第6期21卷 1168-1170页
作者: huangrui linxuan-ying yuyun-peng linkui-xun weijun-hong yuchu-ying wangzhao-kui DepartmentofPhysics ShantouUniversityShantou515063
We report the discovery of fast growth of polycrystalline silicon films under low temperature of 200–300 degrees C from SiCl4/H2 mixture gases by plasma enhanced chemical vapour deposition technique. The deposition r... 详细信息
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运载火箭舱段螺栓力矩施加与管理技术
收藏 引用
南京航空航天大学学报 2022年 第S1期54卷 68-73页
作者: 梁莹 彭恩鸿 王琳璇 张波 张柳锋 徐爱杰 上海航天精密机械研究所 上海201600
以运载火箭舱段为研究对象,开发了螺纹紧固件力矩施加监控系统,制定了螺栓点位及力矩程序编号规则。通过工艺试验获得了最优的拧紧策略和工艺参数,验证了该系统能够进行人机交互编程,实现力矩施加过程的自动化,实时获得力矩大小及点位... 详细信息
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