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作者

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  • 1 篇 英文
检索条件"作者=Gyungho Khim"
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A Vacuum-Compatible Air Bearing:Design Analysis and Optimization
A Vacuum-Compatible Air Bearing:Design Analysis and Optimiza...
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亚洲精密工程、微纳技术国际会议
作者： gyungho khim Chun-Hong Park Husang Lee Seung-Woo Kim Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST) Daejeon S.Korea Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM) Daejeon S.Korea Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM) Daejeon S.Korea Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST) Daejeon S.Korea
This paper describes a vacuum-compatible air bearing designed with a cascaded exhaust scheme to minimize the leakage of air in a vacuum environment. The design of the air bearing, including the differential exhaust sy... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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