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Air-coupled PMUTs array with residual stresses:experimental tests in the linear and non-linear dynamic regime

International Journal of Smart and Nano Materials 2020年第4期11卷 387-399页

作者： gianluca massimino Borka Lazarova Fabio Quaglia Alberto Corigliano Department of Civil and Environmental Engineering Politecnico Di Milano MilanItaly Analog MEMS&Sensors Group STMicroelectronicsCornaredoItaly

The mechanical characterization of a 4×4 air-coupled array of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers(PMUTs)is *** experimental campaign consists of three set of experi-mental tests,namely:topography measurements,small signal dynamic measurements,and vibrometry in the non-linear dynamic *** behavior of three different kinds of PMUT are *** differ according to the thermo-electrical treatment that has been applied to the piezoelectric *** presence of the fabrication induced residual stresses is investigated and the treat-ment effect is evaluated in terms of the initial deflected *** results reported in this paper represent an experimental mechanical investigation useful for the design of PMUT structures with advanced functionalities in the linear and non-linear regime.

关键词： acoustic-structure interaction array experimental characterization non-linear dynamics Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers(PMUTs) ultrasound

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