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主题

  • 1 篇 激光干涉仪
  • 1 篇 长距扫描探针技术
  • 1 篇 纳米定位
  • 1 篇 控制系统
  • 1 篇 纳米测量

机构

  • 1 篇 德国伊尔梅瑙工业...

作者

  • 1 篇 hausotte tino
  • 1 篇 fuβl roland
  • 1 篇 grunwald rainer
  • 1 篇 jager gerd
  • 1 篇 manske eberhard

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"作者=GRUNWALD rainer"
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纳米定位测量机操作测量结果(英文)
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引用
纳米技术与精密工程 2004年 第2期2卷 81-84页
作者： JAGER Gerd grunwald rainer MANSKE Eberhard HAUSOTTE Tino FUβL Roland 德国伊尔梅瑙工业大学
伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机 (NPMM ) .阿贝无偏设计使得该机器异常精确 .在整个 2 5mm× 2 5mm× 5mm的定位和测量域内 ,干涉测长系统分辨力可达 0 .1nm ,不确定度达 5～ 10nm .提供了纳米定... 详细信息
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