检索结果-南通市图书馆

中国光学学会2004年学术大会

作者： frank muecklich Claus DANIEL Institute of Functional materials University of Saarland 66123 Saarbrücken Germany Institute of Functional materials University of Saarland 66123 Saarbrücken Germany

以玻璃为基底的非晶硅图形式结晶,对于研制用于矩阵液晶显示的薄膜半导体具有重要意义。但是传统技术例如液相或固相结晶,面临的困难是过大的硅熔点和玻璃软化温度差值。对此,由于具有快速加热和冷却的特点,脉冲激光晶化是一个很好的解... 详细信息

以玻璃为基底的非晶硅图形式结晶,对于研制用于矩阵液晶显示的薄膜半导体具有重要意义。但是传统技术例如液相或固相结晶,面临的困难是过大的硅熔点和玻璃软化温度差值。对此,由于具有快速加热和冷却的特点,脉冲激光晶化是一个很好的解决途径。此项工作中,激光干涉晶化方法用来获得非晶硅的图形化结晶,所用激光为 Nd:YAG 激光器的三倍频,波长为 355 nm。实验中使用高光学质量的反射镜、分束镜,以获得均匀相干波面。对所得结构化的薄膜的形貌,用白光干涉显微镜和原子力显微镜进行表征;对薄膜的晶相结构,用X 射线衍射仪辅之以原子力显微镜进行分析、观察。实验结果表明,激光诱导结晶按激光强度分布进行,形成图形式结晶;对多脉冲暴光薄膜的 X 射线分析表明,薄膜呈多晶结构。二束与三束处理样品在形貌上的差别,则取决于激光强度。

关键词：脉冲激光激光干涉非晶硅结晶

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

光子晶体提高GaN基LED发光效率实验与工艺研究

引用

半导体光电 2013年第3期34卷 383-387页

作者：刘中凡冯志庆于乃森杨天鹏唐勇吴胜利 frank muecklich Christoph Pauly Casten Gachot 大连民族学院物理与材料工程学院辽宁大连116600 大连路美芯片科技公司辽宁大连116600 德国萨尔大学萨尔州66123

采用聚焦离子束制备了500nm和1.5μm周期两种结构,使GaN基LED光效显著提高。比较长、短周期光子晶体提高光效的程度、制备工艺、设备及其相应的成本,宜采用长周期光子晶体结构来提高蓝光GaN基LED的发光效率。采用聚焦离子束和激光干涉... 详细信息

采用聚焦离子束制备了500nm和1.5μm周期两种结构,使GaN基LED光效显著提高。比较长、短周期光子晶体提高光效的程度、制备工艺、设备及其相应的成本,宜采用长周期光子晶体结构来提高蓝光GaN基LED的发光效率。采用聚焦离子束和激光干涉两种方法,在GaN基LED导电层(ITO)上制备了长周期光子晶体,利用光纤光谱仪、显微镜和功率计对光提取效率进行了实验测试,结果表明长周期光子晶体LED比无光子晶体LED的光提取效率提高了90%以上。还采用激光干涉直写方法,以扫描的方式在较大面积上制备了光子晶体LED,确认了该方法及工艺批量化、低成本制备光子晶体的可行性。聚焦离子束方法虽然能够产生较精确的光子晶体图形,但由于耗时长、效率低、成本高等问题,仅适于在实验研究中选择和优化光子晶体的结构和参数。

关键词：聚焦离子束激光干涉直写光子晶体LED 发光效率

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：