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北京理工大学学报 2023年第8期43卷 878-884页

作者： ehrig michael 甘凯轩北京理工大学数学与统计学院北京102488

Misra和Miwa通过Fock空间构造了量子仿射代数Uv(sle)的自然表示.这将Uq(slN)的Weyl模与Uv(sle)在Fock空间上的作用联系起来,其中q是单位根.对于D型量子群Uq(so2N),通过推广A型Fock空间上的仿射量子群作用,构造了一个从有限维Uq(so2N)模... 详细信息

Misra和Miwa通过Fock空间构造了量子仿射代数Uv(sle)的自然表示.这将Uq(slN)的Weyl模与Uv(sle)在Fock空间上的作用联系起来,其中q是单位根.对于D型量子群Uq(so2N),通过推广A型Fock空间上的仿射量子群作用,构造了一个从有限维Uq(so2N)模的Grothendieck群到广义Fock空间的嵌入,并且定义了仿射量子对称对在这些空间上的作用.由此将仿射量子对称对的作用与单位根处的量子群的邻接原理和张量积分解联系起来,其中Uq(so2N)有限维模范畴中的张量积分解与A型量子群Uq(slN)的有限维模范畴中的张量积分解类似.

关键词： Fock空间量子对称对单位根处的量子群

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The push-pull principle:an electrostatic actuator concept for low distortion acoustic transducers

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Microsystems & Nanoengineering 2022年第6期8卷 181-194页

作者： Bert Kaiser Hermann A.G.Schenk Lutz ehrig Franziska Wall Jorge M.Monsalve Sergiu Langa michael Stolz Anton Melnikov Holger Conrad David Schuffenhauer Harald Schenk Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems IPMS DresdenGermany Arioso Systems GmbH since Sep.1st 2022:BOSCH Sensortec GmbHDresdenGermany Chair of Micro and Nano Systems Brandenburg University of Technology Cottbus-SenftenbergCottbusGermany

Electrostatic actuators are of particular interest for microsystems(MEMS),and in particular for MEMS audio transducers for use in advanced true wireless applications.They are attractive because of their typically low electrical capacitance and because they can be fabricated from materials that are compatible with standard complementary metal-oxide semiconductor(CMOS)technology.For high audio performance and in particular low harmonic distortion(THD)the implementation of the push-pull principle provides strong benefits.With an arrangement of three electrodes in a conjunct moving configuration on a beam,we demonstrate here for the first time a balanced bending actuator incarnating the push-pull principle operating at low voltages.Our first design already exhibits a harmonic distortion as low as 1.2%at 79 dB using a signal voltage of only 6 V_(p) and a constant voltage of only±10 V_(dc) in a standard acoustic measurement setup.Thus,exceeding our previously reported approach in all three key performance indications at the same time.We expect that our novel electrode configurations will stimulate innovative electrostatic actuator developments for a broad range of applications.In this paper we report the basic theory,the fabrication and the performance of our novel actuator design acting as an audio transducer.

关键词： distortion push electrostatic

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Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers

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Microsystems & Nanoengineering 2019年第1期5卷 196-206页

作者： Bert Kaiser Sergiu Langa Lutz ehrig michael Stolz Hermann Schenk Holger Conrad Harald Schenk Klaus Schimmanz David Schuffenhauer Fraunhofer-Institute for Photonic Microsystems 01109 DresdenGermany Chair of Micro and Nano Systems Brandenburg University of Technology Cottbus-Senftenberg03013 CottbusGermany

MEMS-based micro speakers are attractive candidates as sound transducers for smart devices,particularly wearables and hearables.For such devices,high sound pressure levels,low harmonic distortion and low power consumption are required for industrial,consumer and medical applications.The ability to integrate with microelectronic circuitry,as well as scalable batch production to enable low unit costs,are the key factors benchmarking a technology.The Nanoscopic Electrostatic Drive based,novel micro speaker concept presented in this work essentially comprises inplane,electrostatic bending actuators,and uses the chip volume rather than the its surface for sound generation.We describe the principle,design,fabrication,and first characterization results.Various design options and governing equations are given and discussed.In a standard acoustical test setup(ear simulator),a MEMS micro speaker generated a sound pressure level of 69 dB at 500 Hz with a total harmonic distortion of 4.4%,thus proving the concept.Further potential on sound pressure as well as linearity improvement is outlined.We expect that the described methods can be used to enhance and design other MEMS devices and foster modeling and simulation approaches.

关键词： sound utilizing distortion

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