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Highly efficient fiber to Si waveguide free-form coupler for foundry-scale silicon photonics

Photonics Research 2024年第5期12卷 1055-1066页

作者： LUIGI RANNO JIA Xu BRIAN SIA COSMIN POPESCU drew weninger SAMUEL SERNA SHAOLIANG YU LIONEL C.KIMERLING ANURADHA AGARWAL TIAN GU JUEJUN HU Department of Materials Science&Engineering Massachusetts Institute of TechnologyCambridgeMassachusetts 02139USA Centre for Micro-&Nano-Electronics(CMNE) Nanyang Technological UniversitySingapore 639798Singapore Department of Physics Photonics and Optical EngineeringBridgewater State UniversityBridgewaterMassachusetts 02324USA Zhejiang Laboratory Hangzhou 311100China Materials Research Laboratory Massachusetts Institute of TechnologyCambridgeMassachusetts 02139USA

As silicon photonics transitions from research to commercial deployment,packaging solutions that efficiently couple light into highly compact and functional sub-micrometer silicon waveguides are imperative but remain *** 220 nm silicon-on-insulator(SOI)platform,poised to enable large-scale integration,is the most widely adopted by foundries,resulting in established fabrication processes and extensive photonic component *** development of a highly efficient,scalable,and broadband coupling scheme for this platform is therefore of paramount *** two-photon polymerization(TPP)and a deterministic free-form micro-optics design methodology based on the Fermat’s principle,this work demonstrates an ultraefficient and broadband 3-D coupler interface between standard SMF-28 single-mode fibers and silicon waveguides on the 220 nm SOI *** coupler achieves a low coupling loss of 0.8 dB for the fundamental TE mode,along with 1 dB bandwidth exceeding 180 *** broadband operation enables diverse bandwidthdriven applications ranging from communications to ***,the 3-D free-form coupler also enables large tolerance to fiber misalignments and manufacturing variability,thereby relaxing packaging requirements toward cost reduction capitalizing on standard electronic packaging process flows.

关键词： fiber waveguide enable

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