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基于SIMOX的耐高温压力传感器芯片制作

Journal of Semiconductors 2005年第8期26卷 1595-1598页

作者：王权丁建宁王文襄熊斌江苏大学微纳米科学技术研究中心镇江212013 昆山双桥传感器测试技术有限公司苏州215325 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求，设计了压阻式压力传感器敏感芯片，采用SIMOX技术的SOI晶片，在微加工平台上通过低压化学气相淀积法（LPCVD）均相外延硅测量层、浓硼离子注入、热氧化、光刻、电感耦合等离子体（ICP）... 详细信息

针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求，设计了压阻式压力传感器敏感芯片，采用SIMOX技术的SOI晶片，在微加工平台上通过低压化学气相淀积法（LPCVD）均相外延硅测量层、浓硼离子注入、热氧化、光刻、电感耦合等离子体（ICP）深刻蚀、多层合金化等工艺流程制作了该芯片，将其封装后，研制出了高精度稳定性佳的耐高温压阻式压力传感器．封装工艺进一步改善后，该芯片工作温区有望拓宽到300～350℃．

关键词：高温压力传感器 SIMOX 低压化学气相淀积电感耦合等离子体深刻蚀

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界面性质对流动滑移特性影响的实验研究

润滑与密封 2006年第12期31卷 104-105,119页

作者：凌智勇刘勇庄志文丁建宁杨继昌江苏大学微纳米科学技术研究中心江苏镇江212013

采用分子自组装技术在微圆管道内壁生成一层单分子Octadecyltrichlorosilane(OTS)膜来改变其界面性质,使亲水性管道表面变成疏水性表面。利用亲水性和疏水性表面内径50μm的微管道,通过测量其流量的方法观察了去离子水在不同界面性质表... 详细信息

采用分子自组装技术在微圆管道内壁生成一层单分子Octadecyltrichlorosilane(OTS)膜来改变其界面性质,使亲水性管道表面变成疏水性表面。利用亲水性和疏水性表面内径50μm的微管道,通过测量其流量的方法观察了去离子水在不同界面性质表面的管道中的流动滑移情况。实验结果表明,在亲水性表面管道中,去离子水流动的压力-流量关系符合经典的Navier-Stokes方程;去离子水在自组装一层单分子OTS膜管道流动时,由于去离子水在斥水性微管道中的流动出现了表面滑移,其流量增大约8%,去离子水流动的压力-流量关系不再符合经典的Navier-Stokes方程。

关键词：边界条件滑移特性界面性质斥水性亲水性

亲水性和疏水性微管道中流动滑移特性的实验研究

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中国机械工程 2006年第22期17卷 2326-2329页

作者：凌智勇刘勇丁建宁杨继昌庄志文范真江苏大学镇江212013

通过对微圆管道内表面进行界面性质处理,研究了不同界面性质对去离子水在内径50μm微管道中的流动滑移特性的影响。通过实验,在微圆管道内表面自组装一层疏水性单分子octadecyltrichlorosilane(OTS)膜来改变界面性质,并采用体积法测量... 详细信息

通过对微圆管道内表面进行界面性质处理,研究了不同界面性质对去离子水在内径50μm微管道中的流动滑移特性的影响。通过实验,在微圆管道内表面自组装一层疏水性单分子octadecyltrichlorosilane(OTS)膜来改变界面性质,并采用体积法测量压力驱动下微圆管道中去离子水的流量,观察去离子水在亲水性和疏水性表面微圆管道中的流动滑移情况。结果表明,去离子水在亲水性表面流动的压力-流量特性仍符合经典的Navier-Stokes方程,而去离子水在疏水性表面管道中流动时,其流量明显增大,说明去离子水在疏水性表面微圆管道中的流动出现了表面滑移。其原因是,疏水性表面使微管道表面的粗糙度降低,微管道表面产生微气泡或低密度液体而引起流动滑移。

关键词：微圆管道疏水性亲水性边界条件滑移特性

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微热光电系统中多孔介质燃烧室性能试验

农业机械学报 2010年第5期41卷 193-197页

作者：潘剑锋张会峰唐爱坤李德桃丁建宁薛宏江苏大学能源与动力工程学院镇江212013 江苏大学微米纳米技术研究中心镇江212013 美国加州州立工业大学机械工程学院

为优化燃烧室,设计加工了内径2.4 mm、外径3.0 mm的多种不同孔隙率的多孔介质结构微燃烧室,并在燃烧室内实现了氢氧混合气的稳定燃烧。改变氢氧体积混合比和混合气入口流量,对多孔介质微燃烧室进行了相关试验,分析了各种条件下微燃烧室... 详细信息

为优化燃烧室,设计加工了内径2.4 mm、外径3.0 mm的多种不同孔隙率的多孔介质结构微燃烧室,并在燃烧室内实现了氢氧混合气的稳定燃烧。改变氢氧体积混合比和混合气入口流量,对多孔介质微燃烧室进行了相关试验,分析了各种条件下微燃烧室的燃烧情况及外壁面的温度分布。研究结果表明,这些因素对混合气在微燃烧室内的燃烧有重要影响。多孔介质燃烧室在孔隙率为0.50,混合气入口流量为750 cm3/min,氢氧体积混合比为2∶1时燃烧效果较好,外壁面温度高且分布均匀,适合微热光电系统的应用。

关键词：微热光电系统微燃烧室多孔介质壁面温度试验

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一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置

真空科学与技术学报 2005年第3期25卷 214-216,221页

作者：王权丁建宁王文襄杨平江苏大学微纳米科学技术研究中心昆山双桥传感器测试技术有限公司江苏苏州215325

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用。本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适... 详细信息

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用。本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适合于大批量生产的静电键合简易装置,实践表明此装置易操作,施加键合静电电压降为160V,键合时间缩短为约2分钟,键合界面具有较大的封接强度和耐高温冲击性,满足了压力传感器制作的无应力封装的需要,具有实用性。

关键词：压阻式压力传感器硅芯片 PYREX7740 静电键合简易装置

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BCZT无铅压电陶瓷的铁电相变

材料研究学报 2017年第4期31卷 248-254页

作者：方必军刘星张震乾陈智慧丁建宁赵祥永罗豪甦常州大学材料科学与工程学院江苏省光伏科学与工程协同创新中心常州213164 上海师范大学物理系上海师范大学光电材料与器件重点实验室上海200234 中国科学院无机功能材料与器件重点实验室上海201800

根据升温拉曼光谱和电学性能的变化研究了(Ba_(0.84)Ca_(0.15)Sr_(0.01))(Ti_(0.90)Zr_(0.09)Sn_(0.01))O_3(BCSTZS)陶瓷的铁电相变。BCSTZS陶瓷的拉曼模分为v_3(LO),v_3(TO),v_4(LO),v_2(LO,TO),v_1(TO)和v_1(LO)模。v_3(LO)和v_4(LO)模在升温至80℃后消失,表明BCSTZS的相结构从四方铁电相转变为立方顺电相。v_3(TO),v_2(LO,TO),v_1(TO)和v_1(LO)拉曼模的峰强和峰宽在室温和80℃附近出现明显的异常变化,表明在这两个温度点附近分别发生正交-四方和四方-立方铁电相变。BCSTZS陶瓷在高于居里温度(TC)时仍然存在拉曼峰,表明其内部存在极性微区。随着温度的升高谐振频率(f_r)和反谐振频率(f_a)互相接近,f_a在TC附近出现不连续变化,而应变和逆压电系数 d_(33)*( d_(33)*=S_(max)/E_(max))值随着温度的升高而逐渐降低,进一步证明发生了铁电相变。

关键词：无机非金属材料无铅压电陶瓷铁电相变拉曼光谱 BCSTZS 电学性能

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变速点、线接触副弹流润滑油膜的观测

润滑与密封 2011年第2期36卷 68-71页

作者：苗乃明苏少航丁建宁华同曙常州大学机械与能源工程学院江苏常州213016 江苏大学机械工程学院江苏镇江212013

应用光干涉方法,在自制的光弹流试验机上分别对纯滚动条件下点接触和线接触形成的弹流油膜进行变卷吸速度实验,并进行油膜测量。结果表明,在卷吸速度为零时都有封油现象的出现。随着卷吸速度的增加,油膜厚度增加,点接触形成的弹流油膜... 详细信息

应用光干涉方法,在自制的光弹流试验机上分别对纯滚动条件下点接触和线接触形成的弹流油膜进行变卷吸速度实验,并进行油膜测量。结果表明,在卷吸速度为零时都有封油现象的出现。随着卷吸速度的增加,油膜厚度增加,点接触形成的弹流油膜具有典型的马蹄形特征,线接触形成的弹流油膜在接触区端部有类似点接触的马蹄形收缩。要达到同样的最大赫兹接触压力,施加在线接触实验上的载荷要比施加在点接触实验上的载荷大40倍左右。

关键词：高副接触弹流润滑油膜观测

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SiO_2/C复合负极材料的制备及其性能

中国科学：化学 2015年第7期45卷 733-739页

作者：任玉荣魏恒马黄小兵丁建宁常州大学材料科学与工程学院常州213164 湖南文理学院化学化工学院湖南415000

采用在纳米SiO2表面包覆聚苯胺,并经过热处理后,制备了SiO2/C纳米复合材料.通过X射线衍射(XRD)、热重分析(TGA)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对材料的晶体结构和表观形貌进行了表征.同时也对材料的电化学性能进行了测试,... 详细信息

采用在纳米SiO2表面包覆聚苯胺,并经过热处理后,制备了SiO2/C纳米复合材料.通过X射线衍射(XRD)、热重分析(TGA)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对材料的晶体结构和表观形貌进行了表征.同时也对材料的电化学性能进行了测试,结果表明,50 mA/g电流密度下,SiO2/C纳米复合材料首次放电比容量达到830.5 mAh/g,100次循环后,放电比容量仍然保持在510 mA/g以上.电化学交流阻抗测试表明,SiO2表面包覆的碳层能显著减小电极的界面阻抗,提高电池的电化学性能.

关键词： SiO2 碳包覆复合材料电化学性能

FeCuNbSiB单纳米晶磁芯双绕组新型电流传感器理论分析

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仪器仪表学报 2005年第11期26卷 1139-1143页

作者：鲍丙豪朱大奇丁建宁李长生李伯全陈进鲁开玉江苏大学测控技术与仪器系镇江212013 江南大学测控技术与仪器系无锡214000 江苏大学微纳米科学技术研究中心镇江212013

炉内等温退火法制得的纳米晶合金F e73.5Cu1N b3S i13.5B9环形磁芯,由于在退火过程中材料内应力得以充分驰豫释放,使其具有高的磁性能温度稳定性及高的磁灵敏度,特别适合于制作对微弱电流进行测量的传感器。利用纳米晶合金材料作为敏感... 详细信息

炉内等温退火法制得的纳米晶合金F e73.5Cu1N b3S i13.5B9环形磁芯,由于在退火过程中材料内应力得以充分驰豫释放,使其具有高的磁性能温度稳定性及高的磁灵敏度,特别适合于制作对微弱电流进行测量的传感器。利用纳米晶合金材料作为敏感材料,提出了采用单纳米晶磁芯双绕组结构,多谐自振荡励磁,可进行非接触检测微弱电流的新型传感器。建立了传感器的数学模型,从理论上分析了传感器工作原理,该理论与实验结果很好地吻合。并利用傅里叶变换对桥路输出信号进行分析,指出了传感器信号调理电路的设计方法。

关键词：纳米晶合金单磁芯双绕组非接触电流传感器理论傅里叶变换多谐振荡桥