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机构

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作者

  • 1 篇 孙清云
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  • 1 篇 张翅腾飞
  • 1 篇 陈辉
  • 1 篇 lang hu

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"作者=Chitengfei Zhang"
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化学气相沉积生长TaC涂层的高通量热力学分析
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材料保护 2024年 第4期57卷 11-19,38页
作者： 孙清云 陈辉 李士栋 张翅腾飞 湖北隆中实验室 湖北襄阳441000 中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司 湖北武汉430030
为指导半导体高温炉构件用高纯TaC涂层的生长调控,采用Thermo-calc软件开展TaC涂层生长过程的高通量热力学模拟计算,研究了沉积温度、压强和前驱体组分比对原料利用效率和TaC涂层纯度等指标的影响。模拟结果表明,在“TaCl_(5)+C_(3)H_(6... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
Study on preparation and ns-laser damage of HfO2 single layers
Study on preparation and ns-laser damage of HfO2 single laye...
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第四届粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2020年广东...
作者： 郭可升 Lang Hu Hong Wei chitengfei zhang Long Yao Qiang Hu Ping Xu Laboratory of Microwave and Vacuum Technology Jihua Laboratory
The effects of the main parameters of argon flux,oxygen flux and beam voltage on the surface morphology,transmittance spectrum and laser damage of the HfO single layers prepared by ion beam sputtering are studied.The ... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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