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检索条件"作者=Chao Bian Yuanyuan Xu Hongguang Sun Shaofeng Chen Shanhong Xia"
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A Micro Amperometric Immunosensor Based on MEMS
收藏 引用
稀有金属材料与工程 2006年 第A03期35卷 339-341页
作者: chao bian yuanyuan xu hongguang sun shaofeng chen shanhong xia State Key Lab of Transducer Technology Institute of Electronics Chinese Academy of Sciences Beijing 100080 China
A micro amperometric immunosensor with the sensitive area of only 1mm^2 was fabricated on silicon using the technique of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS).A double exposure of SU-8 photoresist process was develo... 详细信息
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