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新疆师范大学学报（自然科学版） 1997年第3期16卷 1-3页

作者：王宝勤陈春丽新疆师范大学数学系

文中给出了曲面上参数网为Tchebychef网的几个充要条件,并讨论Tchebychef网与Guass映射以及与之相关的一些问题.

关键词： Tchebychef网 Guass映射联络

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电子束抗蚀剂图形结构的倒塌与粘连

微纳电子技术 2011年第1期48卷 63-68页

作者：赵珉陈宝钦牛洁斌谢常青刘明湛江师范学院信息科技与技术学院广东湛江524048 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室北京100029

首先从实验现象出发,阐述了纳米级高密度、高深宽比电子抗蚀剂图形结构发生倒塌与粘连的主要几何因素及其关系。除了结构的几何因素外,结合"Beam Sway"模型分析了抗蚀剂微细结构在制作过程中的受力情况。在上述工作的基础上,提出了克服... 详细信息

首先从实验现象出发,阐述了纳米级高密度、高深宽比电子抗蚀剂图形结构发生倒塌与粘连的主要几何因素及其关系。除了结构的几何因素外,结合"Beam Sway"模型分析了抗蚀剂微细结构在制作过程中的受力情况。在上述工作的基础上,提出了克服纳米级高密度、高深宽比电子抗蚀剂图形结构倒塌与粘连的相应措施。其中,通过实验验证了超临界CO2干燥技术对于电子束抗蚀剂ZEP520A用于制作周期200nm及150nm、深宽比超过4的光栅图形结构具有良好的效果。

关键词：电子束光刻抗蚀剂高深宽比倒塌超临界二氧化碳干燥

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灰色条件概率与灰熵

新疆师范大学学报（自然科学版） 1995年第2期14卷 17-20页

作者：王宝勤陈春丽新疆师范大学数学系

本文先给出了一类灰色条件概率的定义,并讨论了它的一些性质及有关公式。在此基础上给出了灰色信息论中最主要的概念—灰熵的定义,并讨论了它的一些性质为以后灰信息论的研究和应用奠定些基础。

关键词：灰色条件概率灰熵

运用行为技能训练程序培训资源教师的个案研究--以教导自闭症儿童向同伴表达需求为例

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现代特殊教育 2021年第2期 34-40页

作者：赵梅菊刘畅李鑫陈保芹中华女子学院儿童发展与教育学院北京100101 现代艺术幼儿园北京100089

采用多试探跨被试实验设计,运用行为技能训练程序,培训3名幼儿园资源教师教导3名自闭症儿童向同伴表达需求。研究结果表明,行为技能训练产生了积极的培训效果,3名资源教师实施表达需求干预程序的正确率明显增加,且该技能在其他情景的教... 详细信息

采用多试探跨被试实验设计,运用行为技能训练程序,培训3名幼儿园资源教师教导3名自闭症儿童向同伴表达需求。研究结果表明,行为技能训练产生了积极的培训效果,3名资源教师实施表达需求干预程序的正确率明显增加,且该技能在其他情景的教学中得到了泛化。此外,随着资源教师能够正确实施表达需求的干预程序,3名自闭症儿童在自然环境中独立向同伴表达需求的正确率也明显提高。

关键词：行为技能训练资源教师自闭症表达需求

空间(V,ω)和(V/N,ω′)的有关子空间集合之间的关系

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新疆师范大学学报（自然科学版） 1996年第4期15卷 27-31页

作者：陈春丽王宝勤新疆师范大学数学系

本文先给出有关速向子空间和余迷向子空间的一些新性质.然后,着重对余迷向子空间和含核迷向子空间建立与文献[1]中命题1.8相应的几个命题.

关键词：迷向子空间余迷向子空间含核迷向子空间正交补

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大高宽比微纳结构制备关键技术

微纳电子技术 2016年第10期53卷 685-690页

作者：赵健董连和朱效立谢常青陈宝钦史佩雄长春理工大学光电工程学院长春130022 中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室北京100029 丹麦工业大学DANCHIP实验室

利用HSQ具有的高分辨率、高反差和低边缘粗糙度等突出的优点并通过大量的工艺实验,摸索出电子束曝光剂量、显影液配比、显影时间和显影温度等优化条件,对电子束曝光剂量与线条宽度的关系进行了探索,有效消除了由于散射电子和背散射电子... 详细信息

利用HSQ具有的高分辨率、高反差和低边缘粗糙度等突出的优点并通过大量的工艺实验,摸索出电子束曝光剂量、显影液配比、显影时间和显影温度等优化条件,对电子束曝光剂量与线条宽度的关系进行了探索,有效消除了由于散射电子和背散射电子产生的电子束曝光邻近效应的影响;通过显影液掺适量氯化钠的溶液配比的显影技术有效提高了图形对比度并且分析了氯化钠与HSQ的作用机理;利用二氧化碳超临界干燥法来抑制气液界面毛细管表面张力作用导致的抗蚀剂结构的坍塌和粘连。实验得到了高宽比为12∶1、侧壁陡直性良好的大面积密集纳米结构。

关键词： HSQ 电子束光刻抗蚀剂工艺 CO2超临界干燥大高宽比结构

A New Method to Retrieve Proximity Effect Parameters in Electron-Beam Lithography 

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Journal of Semiconductors 2005年第3期26卷 455-459页

作者：康晓辉李志刚刘明谢常青陈宝钦中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室北京100029

A new method for determining proximity parameters α,β ,and η in electron beam lithography is introduced on the assumption that the point exposure spread function is composed of two Gaussians.A single line is used as test pattern to determine proximity effect parameters and the normalization approach is adopted in experimental data transaction in order to eliminate the need of measuring exposure clearing dose of the ***,the parameters acquired by this method are successfully used for proximity effect correction in electron beam lithography on the same experimental conditions.

关键词： electron beam lithography proximity effect electron-beam proximity correction

页岩气、煤层气等非常规油气生产计量技术及管理

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当代化工研究 2018年第6期 72-73页

作者：谢晓岳陈宝钦杨杰中国石油集团渤海钻探工程有限公司第一固井分公司河北062500

从煤层气和页岩气的基本概念入手,系统地分析了煤层气/页岩气的发育地质条件。页岩气、煤层气等非常规油气生产的计量技术和管理,是影响煤层气开发的主要地质因素。本文研究了页岩气和煤层气非常规油气生产的测量技术和管理。

关键词：页岩气煤层气非常规油气生产计量技术管理

MWT和EWT背接触太阳电池结构及其技术发展

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微纳电子技术 2012年第1期49卷 12-21页

作者：林阳高云贾锐陈宝钦孟彦龙李昊峰中国科学院微电子研究所湖北大学物理学与电子科学技术学院

主要介绍了两种高效前结背接触太阳电池即金属电极绕通(metal wrap through,MWT)太阳电池和发射极电极绕通(emitter wrap through,EWT)太阳电池的基本结构以及其关键技术构成。这两种太阳电池是目前较为高端的两种电池类型,单个电池效... 详细信息

主要介绍了两种高效前结背接触太阳电池即金属电极绕通(metal wrap through,MWT)太阳电池和发射极电极绕通(emitter wrap through,EWT)太阳电池的基本结构以及其关键技术构成。这两种太阳电池是目前较为高端的两种电池类型,单个电池效率能达到20%左右,组件效率能达到17%,其主要优点在于实现了共面拼装和减小了正面遮光损耗,可以应用于大规模生产。针对MWT和EWT两种电池的一些关键技术,总结了两种电池的技术共性,如激光打孔、制绒、扩散、钝化和表面电极制备等工艺,提出了其各项关键技术存在的问题并进行了发展展望。

关键词：太阳电池背接触太阳电池金属电极绕通(MWT) 发射极电极绕通(EWT) 高效电池

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晶体硅太阳电池表面钝化技术

微纳电子技术 2011年第2期48卷 118-127页

作者：陈伟贾锐张希清陈晨武德起李昊峰吴大卫陈宝钦刘新宇中国科学院微电子研究所微波器件与集成电路研究室北京交通大学光电子技术研究所中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室

介绍了晶体硅太阳电池表面钝化技术的发展历程,表面钝化膜在晶体硅太阳电池中所起的作用,以及晶体硅太阳电池中各种钝化膜和表面钝化技术。阐述了国内和国际对晶体硅太阳电池表面钝化技术的最新研究动态,重点论述了SiO2,SiNx,SiCx和Al2... 详细信息

介绍了晶体硅太阳电池表面钝化技术的发展历程,表面钝化膜在晶体硅太阳电池中所起的作用,以及晶体硅太阳电池中各种钝化膜和表面钝化技术。阐述了国内和国际对晶体硅太阳电池表面钝化技术的最新研究动态,重点论述了SiO2,SiNx,SiCx和Al2O3,以及这些钝化膜的叠层钝化技术的优缺点。在此基础上进一步指出SiO2/SiNx叠层钝化膜将成为今后工业化生产的研究重点,Al2O3及其叠层钝化膜将成为今后实验室的研究重点,由于表面钝化是提高晶体硅太阳电池转换效率最有效的手段之一,今后晶体硅太阳电池表面钝化技术仍将是国内和国际研究的热点问题之一。

关键词：太阳电池钝化减反特性转换效率表面复合叠层钝化膜