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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 制造设备
  • 1 篇 砷化镓
  • 1 篇 单片集成电路

作者

  • 1 篇 自力
  • 1 篇 brecuk w.henders...

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"作者=Brecuk w.henderson"
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排序:
先进的砷化镓制造设备
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上海航天 1989年 第5期6卷 61-62页
作者: brecuk w.henderson 自力
哈里斯微波半导体公司研制了一种先进的GaAs(砷化镓)制造设备,力图成为军用单片微波集成电路(MMIC)的主要生产厂家.哈里斯公司掌握GaAs MMIC从晶体生长(几乎不用铸造工艺)到封装整个电路的每一道生产工序.该公司已对生产厂和设备投资了3... 详细信息
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