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Real-time generation of circular patterns in electron beam lithography

Nanotechnology and Precision Engineering 2024年第3期7卷 90-98页

作者： Zhengjie Li Bohua Yin botong sun Jingyu Huang Pengfei Wang Li Han Institute of Electrical Engineering Chinese Academy of SciencesBeijing 100190China University of Chinese Academy of Sciences Beijing 100190China

Electron beam lithography(EBL)involves the transfer of a pattern onto the surface of a substrate byﬁrst scanning a thin layer of organicﬁlm(called resist)on the surface by a tightly focused and precisely controlled electron beam(exposure)and then selectively removing the exposed or nonexposed regions of the resist in a solvent(developing).It is widely used for fabrication of integrated cir-cuits,mask manufacturing,photoelectric device processing,and otherﬁ*** key to drawing circular patterns by EBL is the graphics production and *** an EBL system,an embedded processor calculates and generates the trajectory coordinates for movement of the electron beam,and outputs the corresponding voltage signal through a digital-to-analog converter(DAC)to control a deﬂector that changes the position of the electron *** this procedure,it is possible to guarantee the accuracy and real-time con-trol of electron beam scanning deﬂ*** EBL systems mostly use the method of polygonal approximation to expose circles.A circle is divided into several polygons,and the smaller the segmentation,the higher is the precision of the splicing ***,owing to the need to generate and scan each polygon separately,an increase in the number of segments will lead to a decrease in the overall lithography *** this paper,based on Bresenham’s circle algorithm and exploiting the capabilities of aﬁeld-programmable gate array and DAC,an improved real-time circle-producing algorithm is designed for *** algorithm can directly generate cir-cular graphics coordinates such as those for a single circle,solid circle,solid ring,or concentric ring,and is able to effectively realizes deﬂection and scanning of the electron beam for circular graphics *** with the polygonal approximation method,the improved algorithm exhibits improved precision and *** the same time,the point generation strategy is optimized to solve the blank pixel and pseudo-pixel prob

关键词： Electron beam lithography Circle production Micro–nano fabrication Pattern generator

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Cycle GAN-MF:A Cycle-consistent Generative Adversarial Network Based on Multifeature Fusion for Pedestrian Re-recognition

IJLAI Transactions on Science and Engineering

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IJLAI Transactions on Science and Engineering 2024年第1期2卷 38-45页

作者： Yongqi Fan Li Hang botong sun Software College of Shenyang Normal University No.253Huanghe North StreetHuanggu DistrictShenyang 110034 China College of Journalism and Communication Shenyang Normal UniversityNo.253Huanghe North StreetHuanggu DistrictShenyang 110034 China

In pedestrian re-recognition,the traditional pedestrian re-recognition method will be affected by the changes of background,veil,clothing and so on,which will make the recognition effect *** order to reduce the impact of background,veil,clothing and other changes on the recognition effect,this paper proposes a pedestrian re-recognition method based on the cycle-consistent generative adversarial network and multifeature *** comparing the measured distance between two pedestrians,pedestrian re-recognition is ***,this paper uses Cycle GAN to transform and expand the data set,so as to reduce the influence of pedestrian posture changes as much as *** method consists of two branches:global feature extraction and local feature *** the global feature and local feature are *** fused features are used for comparison measurement learning,and the similarity scores are calculated to sort the samples.A large number of experimental results on large data sets CUHK03 and VIPER show that this new method reduces the influence of background,veil,clothing and other changes on the recognition effect.

关键词： Pedestrian re-recognition Cycle-consistent generative adversarial network Multifeature fusion Global feature extraction Local feature extraction

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微型阵列束闸设计与实验

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光学精密工程 2024年第13期32卷 2061-2069页

作者：张利新孙博彤刘星云殷伯华刘俊标韩立中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院北京100049

微型阵列束闸是多束电子束曝光系统的关键部件,用于控制多束电子束的开/关,实现复杂图形的快速曝光。对3×3微型阵列束闸进行了设计与制作,并进行了多束电子束偏转实验研究。对阵列束闸结构进行了优化设计,并基于MEMS加工工艺成功制备... 详细信息

微型阵列束闸是多束电子束曝光系统的关键部件,用于控制多束电子束的开/关,实现复杂图形的快速曝光。对3×3微型阵列束闸进行了设计与制作,并进行了多束电子束偏转实验研究。对阵列束闸结构进行了优化设计,并基于MEMS加工工艺成功制备了阵列束闸。针对阵列束闸的控制要求,设计了可单独控制的阵列束闸控制器。将控制器与阵列束闸进行连接,验证了控制器的偏转速度与功能完整性。最后,在多束电子束测试平台对阵列束闸进行了偏转实验,研究串扰对电子束偏转的影响。实验结果表明:阵列束闸控制器的偏转速度达到43.5 MHz,大于设计值10 MHz;阵列束闸成功实现了单独控制电子束开和关,束闸的偏转距离在25~30μm之间,小于计算值43.29μm;串扰程度均小于3%。该阵列束闸已经具备多束电子束开/关控制功能,但在偏转精度,设计和加工工艺等方面还需进一步优化和完善。

关键词：电子束曝光阵列束闸多束电子束串扰偏转速度

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水泥/石灰和土壤固化剂复合改良膨胀土试验研究

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市政技术 2024年第1期42卷 192-199,205页

作者：钟瑞芹王杰鲁赟郭腾孙博通薛立军北京市政建设集团有限责任公司北京100089 北京高新市政工程科技有限公司北京100195 北京市公联公路联络线有限责任公司北京100161

采用水泥/石灰和BJ-W土壤固化剂对安徽地区膨胀土进行了改良试验研究。依据液限、塑限和自由膨胀率试验初步选定改良膨胀土的配合比范围,并通过胀缩总率、无侧限抗压强度和稳定性试验,进一步分析了改良膨胀土的性能变化规律。试验结果表... 详细信息

采用水泥/石灰和BJ-W土壤固化剂对安徽地区膨胀土进行了改良试验研究。依据液限、塑限和自由膨胀率试验初步选定改良膨胀土的配合比范围,并通过胀缩总率、无侧限抗压强度和稳定性试验,进一步分析了改良膨胀土的性能变化规律。试验结果表明,掺入水泥/石灰和BJ-W土壤固化剂复合改良中、弱膨胀土时,液限逐渐减小,塑限逐渐增大,自由膨胀率降低到40%以下,且胀缩总率低于0.7%;无侧限抗压强度和稳定性试验中,改良膨胀土的强度和水稳系数(>80%)显著增加,且经过5次干湿循环后,改良膨胀土的强度衰减率小于20%,膨胀土的反复胀缩特性显著改善。综合考虑改良膨胀土的胀缩和强度特性,采用水泥和BJ-W土壤固化剂复合改良膨胀土效果最佳,中膨胀土最优配合比为7%水泥和0.02%BJ-W土壤固化剂,弱膨胀土最优配合比为6%水泥和0.02%BJ-W土壤固化剂。

关键词：水泥/石灰土壤固化剂改良膨胀土

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基于网络药理学和分子对接技术揭示血府逐瘀口服液抗血栓的活性成分和作用机制

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山东科学 2024年第4期37卷 26-33页

作者：林圣华薛畅马宏林范伟沈川琳陈佳瑜孙博通杜兴硕展文李晓彬张姗姗靳梦何秋霞齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院生物研究所山东省人类疾病斑马鱼模型与药物筛选工程技术研究中心山东济南250014 齐鲁工业大学(山东省科学院)中试基地技术服务平台山东济南250014 西交利物浦大学生物科学系江苏苏州215028

为揭示血府逐瘀口服液治疗血栓类疾病的机理,挖掘血府逐瘀口服液中抗血栓有效成分。通过TCMSP数据库检索血府逐瘀口服液中的化学成分或成分靶点;利用STRING数据库构建蛋白质-蛋白质相互作用(PPI)网络得到核心靶点;通过Cytoscape构建“成... 详细信息

为揭示血府逐瘀口服液治疗血栓类疾病的机理,挖掘血府逐瘀口服液中抗血栓有效成分。通过TCMSP数据库检索血府逐瘀口服液中的化学成分或成分靶点;利用STRING数据库构建蛋白质-蛋白质相互作用(PPI)网络得到核心靶点;通过Cytoscape构建“成分-靶点”网络图,并进行拓扑分析和对核心靶点进行GO和KEGG富集分析,预测血府逐瘀口服液抗血栓的作用机制;根据Degree值排名将关键的成分和作用靶点进行分子对接。通过网络拓扑分析筛选得到81个核心靶点,如TNF、ALB、AKT1等;GO富集分析中生物过程(BP)共304条,分子功能(MF)共72条,细胞组成(CC)共41条,通路富集得到凝血级联反应、TNF等80条信号通路;分子对接结果显示,Sainfuran、Xambioona和7-Methoxy-2-methyl isoflavone与靶点蛋白ESR1、F2、IL-2、KDR、MET、MMP3均有较好的亲和力。该研究为血府逐瘀口服液在抗血栓应用方面提供参考。

关键词：血府逐瘀口服液抗血栓药物血栓网络药理学分子对接作用机制

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智慧教育背景下混合式学习发展路径研究

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信息与电脑 2023年第15期35卷 251-253页

作者：孙博通周传生沈阳师范大学新闻与传播学院辽宁沈阳110034 沈阳师范大学软件学院辽宁沈阳110034

混合式学习是一种将传统面授教学与现代信息技术相结合的学习模式。在智慧教育背景下,混合式学习的概念与应用方式也都发生了转变。文章通过对混合式学习的定义、结构和现存问题进行分析,从学校、教师和学生层面探究混合式学习在智慧教... 详细信息

混合式学习是一种将传统面授教学与现代信息技术相结合的学习模式。在智慧教育背景下,混合式学习的概念与应用方式也都发生了转变。文章通过对混合式学习的定义、结构和现存问题进行分析,从学校、教师和学生层面探究混合式学习在智慧教育中的发展策略,以期为研究者提供思路与参考。

关键词：智慧教育混合式学习发展应用

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注浆材料的现状与发展策略

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化工新型材料 2022年第1期50卷 282-286页

作者：姜瑜郭飞孔恒鲁赟孙博通北京市政建设集团有限责任公司北京100089 北京高新市政工程科技有限公司北京100195

概述了注浆技术的发展及其应用研究现状,介绍了常见防渗堵漏类和补强加固类的注浆材料。简述了注浆材料浆液分类、特点及应用,提出了化学注浆材料研究存在的问题,并探讨了注浆技术的发展策略。最后,对今后化学注浆材料的发展进行展望。

关键词：化学注浆渗漏水治理补强加固丙烯酸盐

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酶法转化精氨酸生产胍基丁胺

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食品与发酵工业 2019年第24期45卷 40-44页

作者：张言慧吉武科高爱存孙博通袁建国山东国力生物技术研究院山东济南250101 山东国力生物科技有限公司山东济南250014

生物法合成胍基丁胺具有成本低、绿色高效等优点,开发微生物发酵法产精氨酸脱羧酶,利用该酶催化精氨酸生成胍基丁胺具有重要意义。该实验以重组大肠杆菌为研究对象,进行单因素实验考察了不同诱导培养温度对菌体细胞表达重组蛋白的影响,... 详细信息

生物法合成胍基丁胺具有成本低、绿色高效等优点,开发微生物发酵法产精氨酸脱羧酶,利用该酶催化精氨酸生成胍基丁胺具有重要意义。该实验以重组大肠杆菌为研究对象,进行单因素实验考察了不同诱导培养温度对菌体细胞表达重组蛋白的影响,不同pH条件对精氨酸脱羧酶活性的影响。然后采用实验设计优化培养基组成,分析各种成分对重组蛋白生产的影响。通过将抑制性成分去除,对蛋白表达有促进作用成分加量,使得精氨酸脱羧酶的酶活提高了2.23倍。优化了转化过程中辅酶的添加量,降低了胍基丁胺的生产成本。15 L发酵罐发酵与转化放大实验,硫酸胍基丁胺产量达到了279.21 g/L,转化率98%。该研究为胍基丁胺的工业化生产奠定了基础。

关键词：大肠杆菌精氨酸精氨酸脱羧酶胍基丁胺补料分批发酵

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X射线探测器双指数信号时间常数

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核技术 2021年第9期44卷 51-59页

作者：程隆军殷伯华孙博彤许广鹿王文博韩立中国科学院电工研究所北京100190 中国科学院大学北京100049

在X射线能谱测量系统中,时间常数是影响梯形成形效果的重要因素,准确测量双指数脉冲信号的时间常数有利于获得较好梯形成形效果。本文研究了一种基于最小二乘法的快速拟合双指数脉冲算法,用于测量梯形脉冲成形中的时间常数,不仅从理论... 详细信息

在X射线能谱测量系统中,时间常数是影响梯形成形效果的重要因素,准确测量双指数脉冲信号的时间常数有利于获得较好梯形成形效果。本文研究了一种基于最小二乘法的快速拟合双指数脉冲算法,用于测量梯形脉冲成形中的时间常数,不仅从理论上证明了该算法的合理性,而且用含有5%标准差噪声的仿真信号和X射线探测器接收55Fe放射源输出的成形脉冲信号验证了该算法,拟合优度R2均超过了0.95。将本文快速拟合算法与MATLAB中cftool工具箱的拟合算法进行对比,结果显示:在满足拟合优度超过0.95的情况下,本文算法的运行速度比cftool中算法快两个数量级。

关键词：微区能谱梯形成形双指数拟合最小二乘法

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电子束增材制造聚焦消像散控制技术研究

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热加工工艺 2022年第21期51卷 117-121,126页

作者：孙博彤殷伯华王鹏飞刘俊标韩立中国科学院电工研究所微纳加工技术研究部北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院北京100049

为解决电子束增材制造设备加工范围受限、大尺寸工件边缘加工精度下降等问题,对大偏角下电子束的散焦和像散进行研究。采用像差理论对电子束偏转过程中出现的束径增大、形状畸变现象进行分析。本研究搭建控制系统,动态调整聚焦线圈和消... 详细信息

为解决电子束增材制造设备加工范围受限、大尺寸工件边缘加工精度下降等问题,对大偏角下电子束的散焦和像散进行研究。采用像差理论对电子束偏转过程中出现的束径增大、形状畸变现象进行分析。本研究搭建控制系统,动态调整聚焦线圈和消像散线圈的电流,即动态聚焦消像散。制作聚焦消像散校正表,使电子束在整个扫描区域内保持小束径。采用二次电子成像方法和EOG(能量梯度函数)评价函数验证校正效果。实验结果表明,动态聚焦消像散能够有效改善束斑质量,校正后电子束在12°偏转以内清晰成像,电子图像EOG值由0.81提升至1。

关键词：电子束选区熔化增材制造动态聚焦消像散

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