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作者

  • 1 篇 b. gorowitz t. b...

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"作者=B. Gorowitz ,T. B. gorczyca ,R. J. Saia ,学坤 ,言午"
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PECVD在VLSI中的应用
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微电子学与计算机 1986年 第6期 45-51页
作者： b. gorowitz ,t. b. gorczyca ,r. j. saia ,t.le = 'color.r.d'>学坤 ,言午
有化学反应性的等离子体低压辉光放电,已被用于微电子电路制造中一些涂层材料的形成。等离子体反应最主要的优点是其通常在温度远低于热反应可能发生的温度下进行,因此有可能在热稳定性差而不能进行高温淀积的衬底上淀积或生长薄膜。这... 详细信息
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