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Integrated 64 pixel UV image sensor and readout in a silicon carbide CMOS technology
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Microsystems & Nanoengineering 2022年 第5期8卷 207-223页
作者： Joost Romijn Sten Vollebregt Luke M.Middelburg BrahimEl Mansouri Henk W.van Zeijl alexandermay Tobias Erlbacher Johan Leijtens Guoqi Zhang Pasqualina M.Sarro Laboratory of Electronic Components Technology and Materials(ECTM)Department of MicroelectronicsDelft University of TechnologyDelftThe Netherlands Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Devices Technology IISB ErlangenGermany Lens R&D NoordwijkThe Netherlands
This work demonstrates the first on-chip UV optoelectronic integration in 4H-SiC CMOS,which includes an image sensor with 64 active pixels and a total of 1263 transistors on a 100mm^(2) chip.The reported image sensor ... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
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