检索结果-南通市图书馆

Monte Carlo method in optical atomic force microscopy

Journal of Measurement Science and Instrumentation 2021年第3期12卷 267-271页

作者： ahemd elmelegy Sarwat Zahwi Engineering and Surface Metrology Laboratory National Institute of Standards (NIS) Giza 12211 Egypt

Scanning probe microscopy(SPM)is a branch of microscopy that forms images of surfaces using a physical probe that scans the *** force microscopy is one of the SPM family which is considered as a very versatile tool for surface imaging and measurements.A wide range of various samples can be measured regardless of being conductive,no-conductive,in vacuum,in air or in a fluid as a unique *** of the most challenges in atomic force microscopes(AFMs)is to evaluate the associated uncertainty during the surface measurements by ***,an optical AFM is calibrated through the calibration of XYZ *** approach is to overcome difficulties experienced when trying to evaluate some uncertainty components which cannot be experimentally determined *** surface interaction forces and tip *** Monte Carlo method is then used to determine the associated uncertainties due to such factors by randomly drawing the parameters according to their associated tolerances and their probability density functions(PDFs).The whole process follows supplement 2 to“the guide to the expression of the uncertainty in measurement”(GUM).The approach validated in the paper shows that the evaluated uncertainty in AFM is about 10 nm.

关键词： measurement Monte Carlo method atomic force microscope(AFM) nanometrology

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：