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Direct writing of anodic oxides for plastic electronics

npj Flexible Electronics 2018年第1期2卷 189-198页

作者： Christian Michael Siket Nadine Tillner Andrei Ionut Mardare Amir Reuveny Carina Daniela Grill Florian Hartmann Gerald Kettlgruber Richard Moser Jan Philipp Kollender Takao Someya achim walter hassel Martin Kaltenbrunner Siegfried Bauer Soft Matter Physics Johannes Kepler University LinzAltenberger Str.694040 LinzAustria Department of Electrical Engineering University of TokyoTokyo 113-8656Japan Institute for Technology of Inorganic Materials Johannes Kepler University LinzAltenberger Str.694040 LinzAustria Christian Doppler Laboratory for Combinatorial Oxide Chemistry(COMBOX) Johannes Kepler University LinzAltenberger Str.694040 LinzAustria Linz Institute of Technology LIT Johannes Kepler University LinzAltenberger Str.694040 LinzAustria

Metal oxide thin films for soft and flexible electronics require low cost,room temperature fabrication,and structuring *** here introduce an anodic printing process to realize the essential building blocks of electronic circuitry,including resistors,capacitors,field-effect transistors,diodes,rectifiers,and memristors directly on imperceptible plastic *** independent on surface properties,we achieve high-quality,few nanometer thin dielectric and semiconducting films even on rough substrates via localized anodisation of valve metals using a scanning droplet cell *** demonstrate printing-like fabrication of 3D multilayer solid-state capacitors with a record-high areal capacity of 4μF cm−*** to the whole class of valve metals and their alloys,our method provides a versatile fabrication technique for the circuits that empower the flexible and stretchable electronics of tomorrow.

关键词： anodic printing metals

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